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发明公开
位移检测装置有权

公开(公告)号：CN102313519A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110154954.4

申请日：2011-06-08

Applicant: 株式会社森精机制作所

Inventor： 小栗大介

IPC: G01B11/02 , G01B11/30

CPC classification number: G01B21/045 , G01B11/0608 , G02B7/34

Abstract: 一种位移检测装置(1)，其中，物镜(3)将来自光源(2)的出射光朝向待测表面(101)会聚。分离光学系统(4)使来自待测表面(101)的反射光的光路与来自光源(2)的出射光的光路分离。通过分离光学系统(4)的反射光被准直透镜(7)会聚，像散产生器(8)在所述反射光中产生像散，这种状态下的反射光被入射到光接收部(9)。位置信息生成器(10)利用基于光接收部(9)检测到的光量获得的焦点误差信号生成待测表面(101)的位置信息。另外，当由物镜(3)会聚的出射光的焦点位于待测表面(101)的前侧或后侧时，聚光器(7)、像散产生器(8)或光接收部(9)在光轴上的位置被设定成使得焦点误差信号的值等于“0”。

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