公开(公告)号：CN103874550B

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201280039420.X

申请日：2012-12-13

申请人： 株式会社海上

发明人： 杉山晋 ,  市川康司

IPC分类号： B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC分类号： B08B3/12 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/71

摘要： 本发明的课题在于提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置。为此，超声波清洗装置具备被清洗物(11)、清洗液(12)、超声波振子(13)、振荡器(14)、电源部(16)以及功率计(15)，振荡器(14)具有：振荡部(17)；控制部(18)，其进行控制以使得由振荡部(17)振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子输出；检测部(19)，其检测由控制部(18)向超声波振子(13)输出的第2功率；和运算部(20)，运算部(20)具有如下功能：导出利用校正值α对第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计(15)测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部(21)。

公开(公告)号：CN103874550A

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201280039420.X

申请日：2012-12-13

申请人： 株式会社海上

发明人： 杉山晋 ,  市川康司

IPC分类号： B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC分类号： B08B3/12 ,  B06B1/0253 ,  B06B2201/71

摘要： 本发明的课题在于提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置。为此，超声波清洗装置具备被清洗物(11)、清洗液(12)、超声波振子(13)、振荡器(14)、电源部(16)以及功率计(15)，振荡器(14)具有：振荡部(17)；控制部(18)，其进行控制以使得由振荡部(17)振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子输出；检测部(19)，其检测由控制部(18)向超声波振子(13)输出的第2功率；和运算部(20)，运算部(20)具有如下功能：导出利用校正值α对第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计(15)测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部(21)。