公开(公告)号：CN102469676A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201110362975.5

申请日：2011-11-16

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 糸村大辅 ,  寺亮之介 ,  广川保明 ,  永谷勇人

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H05H1/46 ,  C23C16/26 ,  C23C16/515 ,  H05H2001/4682 ,  H05H2001/4697

Abstract: 一种等离子体生成装置包括：电源（10），其电极之一连接到N个真空室（2-1至2-3）的真空室壁（15-1至15-3）；振荡器（11），其在每个预定周期输出脉冲信号；N个脉冲放大电路（13-1至13-3），其并联连接到振荡器以及电源的另一电极，并且每个脉冲放大电路放大脉冲信号并且将放大的脉冲信号提供给设置在N个真空室中的N个电极中的对应的一个电极；以及至少（N-1）个定时生成电路（12-1至12-3），其连接在振荡器和至少（N-1）个脉冲放大电路之间，并且使脉冲信号延迟分别不同的延迟时间，使得在任何特定时间，脉冲信号仅被供给其中一个脉冲放大电路。

公开(公告)号：CN102469676B

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201110362975.5

申请日：2011-11-16

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 糸村大辅 ,  寺亮之介 ,  广川保明 ,  永谷勇人

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H05H1/46 ,  C23C16/26 ,  C23C16/515 ,  H05H2001/4682 ,  H05H2001/4697

Abstract: 一种等离子体生成装置包括：电源（10），其电极之一连接到N个真空室（2-1至2-3）的真空室壁（15-1至15-3）；振荡器（11），其在每个预定周期输出脉冲信号；N个脉冲放大电路（13-1至13-3），其并联连接到振荡器以及电源的另一电极，并且每个脉冲放大电路放大脉冲信号并且将放大的脉冲信号提供给设置在N个真空室中的N个电极中的对应的一个电极；以及至少（N-1）个定时生成电路（12-1至12-3），其连接在振荡器和至少（N-1）个脉冲放大电路之间，并且使脉冲信号延迟分别不同的延迟时间，使得在任何特定时间，脉冲信号仅被供给其中一个脉冲放大电路。