公开(公告)号：CN1279348C

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN03107340.9

申请日：2003-03-20

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 浜本和明 ,  丰田稻男

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/225

Abstract: 电容型湿度传感器包括衬底(10)、两个电极(31、32)、钝化层(40)和一个湿度敏感层(50)。两个电极(31、32)配置于衬底(10)上并在同一平面上，而且是互相对向设置，中间有一个间隔。钝化层(40)覆盖两个电极(31、32)。湿度敏感层(50)配置于间隔上或间隔之间，并且湿度敏感层(50)的介电常数相应于湿度而改变。随着间隔的加宽，湿度传感器中的滞后减小。特别是，当间隔等于钝化层(40)两倍或更大时，滞后可减小到小于相对湿度的10%RH。

公开(公告)号：CN1445538A

公开(公告)日：2003-10-01

申请号：CN03107340.9

申请日：2003-03-20

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 浜本和明 ,  丰田稻男

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/225

Abstract: 电容型湿度传感器包括衬底(10)、两个电极(31、32)、钝化层(40)和一个湿度敏感层(50)。两个电极(31、32)配置于衬底(10)上并在同一平面上，而且是互相对向设置，中间有一个间隔。钝化层(40)覆盖两个电极(31、32)。湿度敏感层(50)配置于间隔上或间隔之间，并且湿度敏感层(50)的介电常数相应于湿度而改变。随着间隔的加宽，湿度传感器中的滞后减小。特别是，当间隔等于钝化层(40)两倍或更大时，滞后可减小到小于相对湿度的10％RH。