公开(公告)号：CN118848801A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410440797.0

申请日：2024-04-12

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 黄竟维 ,  大滝裕史 ,  中村贵正 ,  一瀬翔

IPC: B24B37/005 ,  H01L21/67 ,  B24B49/10 ,  B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B27/00 ,  B24B37/04

Abstract: 本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断。信息处理装置包括：基准信息获取部，获取成为基准的相当于基板处理装置的基准装置中的基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息；比较信息获取部，获取成为基准装置的比较对象的相当于基板处理装置的比较装置中的比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息；以及诊断处理部，基于基准信息及比较信息，生成包含基准处理片数与比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除差异的对策中的至少一个的诊断信息。

公开(公告)号：CN118617223A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410228918.5

申请日：2024-02-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 大滝裕史 ,  一瀬翔 ,  中村贵正

IPC: B24B7/22 ,  B24B27/00 ,  B24B41/00 ,  B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种能够适当地制作基板处理计划表的信息处理装置、基板处理装置、信息处理方法及存储介质。信息处理装置制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表。信息处理装置包括：基板处理时间获取部，基于配方信息来获取研磨时间及精加工时间；搬送处理时间获取部，获取搬送时间；以及计划表制作部，将处理顺序条件、同时处理条件、以及对相对于研磨处理后移送处理使研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件设为数学最优化的限制条件，将使最后一片基板的最终处理结束时间成为最短设为数学最优化的目标函数，进行决定各处理的开始时机的数学最优化，由此制作基板处理计划表。