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公开(公告)号:CN113202764A
公开(公告)日:2021-08-03
申请号:CN202110612932.1
申请日:2017-12-08
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及液封式真空泵。该液封式真空泵具有收容密封液的壳体、和所述壳体内所收容的至少一个叶轮,该液封式真空泵的特征在于,在支承所述叶轮的主轴将壳体贯穿的部分上设有轴封部件,所述叶轮具备:具有供所述主轴穿插的孔的圆筒状的轮毂部;从所述轮毂部向径向外侧延伸的多个叶片;和在面对所述轴封部件一侧从所述轮毂部的外周向径向外侧延伸的圆环状的侧板,所述侧板的外径比形成于所述壳体的轴封部件收容空间的内径大。
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公开(公告)号:CN110199125A
公开(公告)日:2019-09-03
申请号:CN201780084217.7
申请日:2017-12-08
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及在电机的主轴(旋转轴)的轴端部安装有两级叶轮(impeller)的两级液封式真空泵。该两级液封式真空泵将设于第一级泵室(1)内的第一级叶轮(4)和设于第二级泵室(2)内的第二级叶轮(5)固定于相同的旋转轴(7),并将第一级泵室(1)的排气口(Pd)和第二级泵室(2)的吸气口(Ps)连通,其中,将第一级叶轮(4)的外径设得比第二级叶轮(5)的外径大。
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公开(公告)号:CN110199125B
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN201780084217.7
申请日:2017-12-08
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及在电机的主轴(旋转轴)的轴端部安装有两级叶轮(impeller)的两级液封式真空泵。该两级液封式真空泵将设于第一级泵室(1)内的第一级叶轮(4)和设于第二级泵室(2)内的第二级叶轮(5)固定于相同的旋转轴(7),并将第一级泵室(1)的排气口(Pd)和第二级泵室(2)的吸气口(Ps)连通,其中,将第一级叶轮(4)的外径设得比第二级叶轮(5)的外径大。
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公开(公告)号:CN113202764B
公开(公告)日:2023-02-28
申请号:CN202110612932.1
申请日:2017-12-08
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及液封式真空泵。该液封式真空泵具有收容密封液的壳体、和所述壳体内所收容的至少一个叶轮,该液封式真空泵的特征在于,在支承所述叶轮的主轴将壳体贯穿的部分上设有轴封部件,所述叶轮具备:具有供所述主轴穿插的孔的圆筒状的轮毂部;从所述轮毂部向径向外侧延伸的多个叶片;和在面对所述轴封部件一侧从所述轮毂部的外周向径向外侧延伸的圆环状的侧板,所述侧板的外径比形成于所述壳体的轴封部件收容空间的内径大。
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