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公开(公告)号：CN117836091A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202280054489.3
申请日：2022-07-04
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B24B37/013 , B24B49/10 , B24B49/16 , H01L21/304
Abstract: 即使研磨摩擦力的变化较小仍可精确检测研磨终点。研磨装置具备：用于保持研磨垫的研磨台；用于将研磨对象物保持为与所述研磨垫相对的保持部；及基于表示由所述研磨垫研磨所述研磨对象物的状态的信号，检测表示所述研磨结束的研磨终点的终点检测部，所述终点检测部构成为，除去所述信号的噪声，并将除去噪声后的所述信号以比1大的指数乘幂，并基于所述乘幂后的信号来检测所述研磨终点。
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