公开(公告)号：CN101128285A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200580048700.7

申请日：2005-08-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 福田明 ,  望月宣宏 ,  广川一人

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/005

Abstract: 本发明提供了一种即使存在滚降也能高产出率地抛光晶片的抛光设备。该抛光设备通过在抛光部件(抛光垫)(201)与由夹持部件(顶圈)夹持的晶片之间施加压力、且使所述抛光部件相对晶片(W)移动而抛光晶片。抛光设备包括用于夹持晶片(W)的顶圈(52)、用于调节晶片(W)通过保持环(203)支撑在支撑表面上的支撑压力的压力调节机构、和基于晶片(W)的滚降量控制所述压力调节机构(206)而使所述支撑压力为期望压力的控制单元(208)。

公开(公告)号：CN1898016A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200480038223.1

申请日：2004-11-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 森田智之 ,  宫晶子 ,  福田明 ,  能见基彦 ,  一木克则 ,  辻村学 ,  清水骏助

IPC: B01J19/00 ,  B01J4/00 ,  G01N1/38 ,  G01N27/447 ,  G01N35/08 ,  G01N37/00

Abstract: 本发明涉及一种采用液体的微芯片装置。更详细地说，本发明提供一种液体混合装置，其包含有用来导入液体的至少2条液体导入用微流道；以及该至少2条液体导入用微流道所连接的混合用微流道而成，并且从各液体导入用微流道所导入的各液体在上述混合用微流道内进行合流，所述液体混合装置具有用来促进在上述混合用微流道内进行合流的液体间的混合的混合促进部件。此外，本发明还提供一种变性剂浓度梯度凝胶电泳法用的电泳装置以及微芯片电泳装置。

公开(公告)号：CN101128285B

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200580048700.7

申请日：2005-08-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 福田明 ,  望月宣宏 ,  广川一人

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/005

Abstract: 本发明提供了一种即使存在滚降也能高产出率地抛光晶片的抛光设备。该抛光设备通过在抛光部件(抛光垫)(201)与由夹持部件(顶圈)夹持的晶片之间施加压力、且使所述抛光部件相对晶片(W)移动而抛光晶片。抛光设备包括用于夹持晶片(W)的顶圈(52)、用于调节晶片(W)通过保持环(203)支撑在支撑表面上的支撑压力的压力调节机构、和基于晶片(W)的滚降量控制所述压力调节机构(206)而使所述支撑压力为期望压力的控制单元(208)。