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公开(公告)号:CN113330584A
公开(公告)日:2021-08-31
申请号:CN201980089460.7
申请日:2019-11-08
Applicant: 株式会社钟化
Inventor: 和田英敏
IPC: H01L31/18 , H01L21/673 , H01L31/0747
Abstract: 本发明涉及太阳能电池制造用基板托盘以及太阳能电池的制造方法。太阳能电池制造用托盘(100)用于制造太阳能电池的制膜工艺中。为了将基板(200)运送到制膜腔内,将基板(200)放置在托盘(100)上。托盘(100)具有凹部(120)和树脂部件(130)。凹部(120)在托盘(100)的供放置基板(200)一侧的表面敞开口,树脂部件(130)布置在凹部(120)的底面(124)上。基板200放置在树脂部件(130)上。
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公开(公告)号:CN113330584B
公开(公告)日:2024-04-23
申请号:CN201980089460.7
申请日:2019-11-08
Applicant: 株式会社钟化
Inventor: 和田英敏
IPC: H01L31/18 , H01L21/673 , H01L31/0747
Abstract: 本发明涉及太阳能电池制造用基板托盘以及太阳能电池的制造方法。太阳能电池制造用托盘(100)用于制造太阳能电池的制膜工艺中。为了将基板(200)运送到制膜腔内,将基板(200)放置在托盘(100)上。托盘(100)具有凹部(120)和树脂部件(130)。凹部(120)在托盘(100)的供放置基板(200)一侧的表面敞开口,树脂部件(130)布置在凹部(120)的底面(124)上。基板200放置在树脂部件(130)上。
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