吸光性优异且适于形成微细图案的感光性组合物

    公开(公告)号:CN105022226A

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201410183532.3

    申请日:2014-04-30

    Abstract: 本发明涉及一种吸光性优异且适于形成微细图案的感光性组合物,更详细而言,涉及一种利用通过紫外线灯和光掩模曝光的一次性曝光法或利用来自紫外线灯的光或短波长激光的直接描绘法,来形成用于实现所希望图案的固化部分,并通过碱性水溶液将未固化部分用于显影的感光性组合物,涉及一种感光性组合物及其固化物,以及通过将所述组合物涂敷于载体薄膜上之后进行干燥而得到的干膜。优选地,所述感光性组合物在曝光前的干燥涂膜厚度为25μm时对于355nm及375nm波长的吸光度为1.2~1.8,对于405nm波长的吸光度为0.6以上。

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