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发明公开
抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法无效

公开(公告)号：CN102825516A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201210206029.6

申请日：2012-06-18

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 马久镐 , 朴炳奎 , 郑昱 , 李大渊 , 宋在翊

IPC: B24B7/24

Abstract: 一种用于使抛光板自转和公转的装置，其可提高玻璃基板的抛光率，因为抛光板可同时自转和公转。

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