公开(公告)号：CN117300846A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311208601.7

申请日：2023-09-19

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 李新凯 ,  孙佳泉 ,  倪浩榕 ,  裴杰 ,  冯国威 ,  周苏 ,  陶沁枫 ,  覃金欣 ,  周河

IPC: B24B27/033 ,  B24B29/00 ,  B24B1/00 ,  B24B41/06 ,  B24B47/12

Abstract: 本发明涉及金属表面改性技术领域，尤其涉及一种棒料表面电子束去除氧化层复合抛光方法，包括以下步骤：步骤一，前处理；步骤二，将清洗后的棒料水平装夹在载台上的三爪卡盘上；步骤三，抽真空处理；步骤四，对电子束机进行参数设定，开启电子束发射装置，同时让三爪卡盘高速旋转，调控载台移动，实现整个加工区棒料的氧化层去除工序；步骤五，降低三爪卡盘移动旋转速度，更改电子束机相关工艺参数，让载台向相反的方向移动，实现抛光处理；步骤六，将已部分抛光的棒料进行调头装夹；步骤七，重复步骤三至步骤五。本发明可有效去除金属棒料表面氧化层，可降低加工所需的电子束能量，达到节能的效果；实现棒料表面的去氧化层和抛光一体化完成。