驱动电路、等离子体电源电路及等离子体系统

    公开(公告)号:CN119906238A

    公开(公告)日:2025-04-29

    申请号:CN202411943791.1

    申请日:2024-12-26

    Abstract: 本申请实施例提供的一种驱动电路、等离子电源电路及等离子体系统,包括:驱动支路;驱动支路包括驱动模块、滤波模块及电源转换模块;驱动模块的第一端接收第一控制信号,驱动模块的第二端与电源转换模块的第一端电连接,驱动模块的第三端与电源转换模块的第二端电连接,驱动模块的第四端接收第一电源信号,驱动模块的输出端与滤波模块电连接;驱动模块,用于根据第一控制信号及第一电源信号感应生成第二控制信号,根据第二控制信号输出驱动信号;滤波模块用于对驱动信号进行滤波处理;电源转换模块的第三端用于接收第二电源信号,电源转换模块用于将第二电源信号转换为第三电源信号并输出。用以提高驱动电路共模瞬态抗扰度。

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