公开(公告)号：CN105073430B

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201480009399.8

申请日：2014-02-19

申请人： 概念系统公司

发明人： 扬·舍恩菲尔德 ,  延斯·穆克尔 ,  迈克尔·多兰 ,  卡斯滕·席曼斯基

IPC分类号： B41J3/28 ,  B41J25/00

CPC分类号： B23Q17/2266 ,  B23Q7/003 ,  B23Q15/26 ,  B41J3/28 ,  B41J25/003 ,  G05B19/418 ,  G05B2219/40066

摘要： 本发明涉及一种表面加工装置，该表面加工装置包含用以接收待加工的基板的基板支撑件，沿着第一移动轴线以及第二移动轴线相对于基板支撑件可调整的加工单元，用以确定基板的取向的位置检测单元以及用于根据基板支撑件上的基板的取向控制加工单元的移动的控制单元。本发明的目的在于提供一种表面加工装置，该表面加工装置可以紧凑的方式生产，并且该表面加工装置允许以便宜的方式精准地加工待加工的基板表面而不管基板支撑件上的基板的位置。这通过加工单元可相对于基板支撑件枢转，特别是绕垂直于由第一移动轴线与第二移动轴线所形成的平面的高度轴线枢转而实现。

公开(公告)号：CN105073430A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201480009399.8

申请日：2014-02-19

申请人： 概念系统公司

发明人： 扬·舍恩菲尔德 ,  延斯·穆克尔 ,  迈克尔·多兰 ,  卡斯滕·席曼斯基

IPC分类号： B41J3/28 ,  B41J25/00

CPC分类号： B23Q17/2266 ,  B23Q7/003 ,  B23Q15/26 ,  B41J3/28 ,  B41J25/003 ,  G05B19/418 ,  G05B2219/40066

摘要： 本发明涉及一种表面加工装置，该表面加工装置包含用以接收待加工的基板的基板支撑件，沿着第一移动轴线以及第二移动轴线相对于基板支撑件可调整的加工单元，用以确定基板的取向的位置检测单元以及用于根据基板支撑件上的基板的取向控制加工单元的移动的控制单元。本发明的目的在于提供一种表面加工装置，该表面加工装置可以紧凑的方式生产，并且该表面加工装置允许以便宜的方式精准地加工待加工的基板表面而不管基板支撑件上的基板的位置。这通过加工单元可相对于基板支撑件枢转，特别是绕垂直于由第一移动轴线与第二移动轴线所形成的平面的高度轴线枢转而实现。