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公开(公告)号:CN1835653A
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN200610054726.9
申请日:2006-03-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G21K5/02 , C03C23/003 , H01J9/241 , H01J2211/34
Abstract: 本发明提供一种以简单高效的方式对绝缘体实行有效的除静电的除静电方法和除静电装置。其设置有对绝缘体(10)的正面从垂直方向照射硬X射线的硬X射线发生装置(5)。硬X射线发生装置(5)照射大于等于0.05且小于1的硬X射线。硬X射线离子化绝缘体(10)正面的空气来对绝缘体(10)正面的电荷进行除静电的同时,透过绝缘体(10)的透过X射线对绝缘体(10)背面的电荷进行除静电。
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公开(公告)号:CN100401859C
公开(公告)日:2008-07-09
申请号:CN200610054726.9
申请日:2006-03-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G21K5/02 , C03C23/003 , H01J9/241 , H01J2211/34
Abstract: 本发明提供一种以简单高效的方式对绝缘体实行有效的除静电的除静电方法和除静电装置。其设置有对绝缘体(10)的正面从垂直方向照射硬X射线的硬X射线发生装置(5)。硬X射线发生装置(5)照射大于等于0.05且小于1的硬X射线。硬X射线离子化绝缘体(10)正面的空气来对绝缘体(10)正面的电荷进行除静电的同时,透过绝缘体(10)的透过X射线对绝缘体(10)背面的电荷进行除静电。
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