用于合成环境阻隔涂层的混合化学-物理气相沉积方法

    公开(公告)号:CN118829622A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202280080349.3

    申请日:2022-11-30

    IPC分类号: C04B41/89 F01D5/28

    摘要: 公开了用于合成环境阻隔涂层系统(EBC)的制造方法,所述环境阻隔涂层系统保护Si基陶瓷基质复合(CMC)材料在高温下免于氧化和挥发。该制造方法在真空中进行,并包括沉积硅结合涂层和含氧阻隔涂层的步骤。该方法由等离子体支持,优选通过和电弧放电,其导致气体前体如硅烷的完全离解。等离子体也用于在不中断的工艺链中预处理基材。公开了具有基本真空和等离子体组分的沉积系统以及通过所述方法制造的EBC涂层。