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公开(公告)号:CN106715757B
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201580042361.5
申请日:2015-07-24
申请人: 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
摘要: 本发明涉及包含多层膜的涂层,其特征在于包含I型层和II型层的多层结构,其中所述I型层由具有由式Me11‑aMe2aZI给定的化学组成的金属氮化物组成,并且所述II型层由具有由式Mo1‑b‑cSicBbZII或Mo1‑b‑cSicBb给定的化学组成的含Mo材料组成。本发明此外涉及用于沉积上述涂层的方法。
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公开(公告)号:CN106715757A
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201580042361.5
申请日:2015-07-24
申请人: 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
CPC分类号: C23C28/42 , C23C14/0641 , C23C14/067 , C23C14/325 , C23C14/3485 , C23C14/35 , C23C28/042 , C23C28/044
摘要: 本发明涉及包含多层膜的涂层,其特征在于包含I型层和II型层的多层结构,其中所述I型层由具有由式Me11‑aMe2aZI给定的化学组成的金属氮化物组成,并且所述II型层由具有由式Mo1‑b‑cSicBbZII或Mo1‑b‑cSicBb给定的化学组成的含Mo材料组成。本发明此外涉及用于沉积上述涂层的方法。
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