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公开(公告)号：CN108650606B
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201810662233.6
申请日：2018-06-25
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
IPC分类号： H04R19/04
摘要： 本发明公开了一种麦克风，第一衬底具有一端开口的内腔，还包括位于第一衬底上且悬置在内腔上方的振膜、至少一个悬臂，所述悬臂与振膜之间通过间隔部隔开，且振膜与第一衬底的内腔围成了声学密封腔；在振膜与悬臂上设置有检测结构。本发明的麦克风采用了悬臂的结构设计，使得振膜与悬臂之间是开放的，振膜在振动时，气流可以顺利地通过悬臂，进而可以大幅度提高麦克风的信噪比。另外，振膜与第一衬底的内腔围成了声学密封腔，声学密封腔中的空气弹性主导着整个麦克风的灵敏度；这种麦克风在制造时，很容易控制声学密封腔参数的一致性，使得可以保证麦克风灵敏度的一致性。
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公开(公告)号：CN109211281B
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201810886846.8
申请日：2018-08-06
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
IPC分类号： G01D5/14
摘要： 本发明公开了一种传感器，包括第一衬底以及通过第一间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，检测结构包括第一磁体、第二磁体，以及设置在第一磁体、第二磁体形成共同磁场中的磁阻传感器；初始位置时，所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置；所述磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号；还包括调节磁阻传感器与第一磁体、第二磁体之间相互位置的驱动装置。本发明的传感器，通过驱动装置可以微调磁阻传感器与第一磁体、第二磁体之间的相对位置，保证磁阻传感器可以工作在合适的磁场中，避免了因制造、装配误差对传感器灵敏度的影响。
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公开(公告)号：CN108924720A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810663424.4
申请日：2018-06-25
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
IPC分类号： H04R19/04
摘要： 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括第一衬底以及通过间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，第一衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；振膜、第一衬底中，其中一个设置了磁性薄膜，另一个上设置了与磁性薄膜配合的磁阻传感器，磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应磁性薄膜的磁场变化而输出变化的电信号。本发明的MEMS麦克风，提高了麦克风的信噪比，大大降低MEMS麦克风的整体尺寸。
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公开(公告)号：CN108650606A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810662233.6
申请日：2018-06-25
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
IPC分类号： H04R19/04
摘要： 本发明公开了一种麦克风，第一衬底具有一端开口的内腔，还包括位于第一衬底上且悬置在内腔上方的振膜、至少一个悬臂，所述悬臂与振膜之间通过间隔部隔开，且振膜与第一衬底的内腔围成了声学密封腔；在振膜与悬臂上设置有检测结构。本发明的麦克风采用了悬臂的结构设计，使得振膜与悬臂之间是开放的，振膜在振动时，气流可以顺利地通过悬臂，进而可以大幅度提高麦克风的信噪比。另外，振膜与第一衬底的内腔围成了声学密封腔，声学密封腔中的空气弹性主导着整个麦克风的灵敏度；这种麦克风在制造时，很容易控制声学密封腔参数的一致性，使得可以保证麦克风灵敏度的一致性。
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公开(公告)号：CN109275080A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201810885775.X
申请日：2018-08-06
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
摘要： 本发明公开了一种传感器，包括第一衬底以及通过第一间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，检测结构包括第一磁体、第二磁体，以及设置在第一磁体、第二磁体形成共同磁场中的磁阻传感器；初始位置时，所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置；所述磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号。本发明的传感器，当磁阻传感器随着振膜振动的时候，磁阻传感器会以其初始位置上下振动。由于磁阻传感器同时受到两个磁体的作用，该两个磁体配合在一起，降低了整个磁场的强度，并在磁阻传感器的线性范围内提高了磁场变化的灵敏度，最终提高了磁阻传感器的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN109275080B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201810885775.X
申请日：2018-08-06
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
摘要： 本发明公开了一种传感器，包括第一衬底以及通过第一间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，检测结构包括第一磁体、第二磁体，以及设置在第一磁体、第二磁体形成共同磁场中的磁阻传感器；初始位置时，所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置；所述磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号。本发明的传感器，当磁阻传感器随着振膜振动的时候，磁阻传感器会以其初始位置上下振动。由于磁阻传感器同时受到两个磁体的作用，该两个磁体配合在一起，降低了整个磁场的强度，并在磁阻传感器的线性范围内提高了磁场变化的灵敏度，最终提高了磁阻传感器的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN109211281A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810886846.8
申请日：2018-08-06
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
IPC分类号： G01D5/14
摘要： 本发明公开了一种传感器，包括第一衬底以及通过第一间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，检测结构包括第一磁体、第二磁体，以及设置在第一磁体、第二磁体形成共同磁场中的磁阻传感器；初始位置时，所述磁阻传感器位于第一磁体的磁场方向与第二磁体的磁场方向相反的位置；所述磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应第一磁体、第二磁体共同磁场的变化而输出变化的电信号；还包括调节磁阻传感器与第一磁体、第二磁体之间相互位置的驱动装置。本发明的传感器，通过驱动装置可以微调磁阻传感器与第一磁体、第二磁体之间的相对位置，保证磁阻传感器可以工作在合适的磁场中，避免了因制造、装配误差对传感器灵敏度的影响。
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公开(公告)号：CN108924720B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201810663424.4
申请日：2018-06-25
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
IPC分类号： H04R19/04
摘要： 本发明公开了一种MEMS麦克风，包括第一衬底以及通过间隔部支撑在第一衬底上方的振膜，第一衬底、间隔部、振膜围成了真空腔；振膜在大气压力下的静态偏转距离小于振膜与第一衬底之间的距离；振膜、第一衬底中，其中一个设置了磁性薄膜，另一个上设置了与磁性薄膜配合的磁阻传感器，磁阻传感器被配置为在振膜的振动过程中感应磁性薄膜的磁场变化而输出变化的电信号。本发明的MEMS麦克风，提高了麦克风的信噪比，大大降低MEMS麦克风的整体尺寸。
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公开(公告)号：CN208300024U
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201820987332.7
申请日：2018-06-25
申请人： 歌尔股份有限公司 , 北京航空航天大学青岛研究院
摘要： 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括具有中空腔的第一衬底以及位于第一衬底上且悬置在中空腔上方的振膜、至少一个悬臂，所述悬臂与振膜之间通过间隔部隔开，且所述振膜与间隔部围成了开放式的容腔；在所述振膜与悬臂上设置有检测结构，所述检测结构用于输出表征振膜变形的电信号。本实用新型的MEMS麦克风，振膜与间隔部围成了开放式的容腔，使得振膜在振动时，气流可以顺利地流通，不会存在由于空气粘度造成的间隙或穿孔中的空气流动阻力，进而可以大幅度提高麦克风的信噪比。
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公开(公告)号：CN112291691A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011255318.6
申请日：2020-11-11
申请人： 歌尔股份有限公司
摘要： 本说明书实施例提供了一种MEMS压电微扬声器、微扬声器单元及电子设备。MEMS压电微扬声器包括：MEMS压电致动器，产生扬声器声波；以及集成在MEMS压电微扬声器内部的微麦克风，基于扬声器声波产生声压信号，以用于调整MEMS压电致动器的声音输出性能，其中，微麦克风的声压检测部分位于MEMS压电致动器外部并与MEMS压电致动器分离开。
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