烘烤炉
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105206720A

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:CN201510687573.0

    申请日:2015-10-21

    IPC分类号: H01L33/00 H01L21/67

    CPC分类号: H01L33/0095 H01L21/67098

    摘要: 本发明公开了一种烘烤炉,属于显示技术领域,解决了对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题。该烘烤炉用于对玻璃基板进行烘烤,包括炉体以及位于所述炉体内部的膛室;所述膛室外设置有传感器,用于感应所述膛室的入口处和出口处基板的出入。本发明可用于液晶显示器的制造过程。

    腔室气流控制系统及方法

    公开(公告)号:CN105135603A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510492387.1

    申请日:2015-08-12

    IPC分类号: F24F11/00

    摘要: 本发明提供一种腔室气流控制系统,包括多个设有风机过滤单元的腔室、中央监控单元、气体检测单元和功率传感器,所述功率传感器与所述风机过滤单元连接,用于检测所述各腔室中风机过滤单元的输出功率并发送到所述中央监控单元,所述气体检测单元用于将所述腔室的气体状态信息发送到所述中央监控单元,所述中央监控单元将所述气体检测单元和所述功率传感器的信息进行处理,并向所述风机过滤单元发送控制指令,控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率以改变气体流向。本发明还提供一种腔室气流控制方法,实现气流方向由换气量大的腔室流向换气量小的腔室的功能,达到了降低腔室中生产的产品的品质风险、提高产品良率的技术效果。