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公开(公告)号：CN110995199B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201911299246.2
申请日：2019-12-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 公开了一种双工器，包括基底(201)以及位于基底(201)上的接收滤波器(103)和发射滤波器(104)；接收滤波器(103)和发射滤波器(104)均包括一个或多个底部薄膜体声波谐振器(210，320)，和在所述一个或多个底部薄膜体声波谐振器(210，320)上形成的顶部薄膜体声波谐振器(220，330)；发射滤波器(104)的底部薄膜体声波谐振器(320)和顶部薄膜体声波谐振器(330)具有质量负载层。本发明通过对底部薄膜体声波谐振器(210，320)压电层厚度t1、顶部薄膜体声波谐振器(220，330)压电层厚度t2以及质量负载的厚度等的调整，可以很容易的进行谐振器谐振频率的匹配，实现双工器接收发射滤波器的单片集成，减小双工器的尺寸。
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公开(公告)号：CN111010127B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201911333656.4
申请日：2019-12-23
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，包括基底、空腔和压电堆叠结构；压电堆叠结构从下而上依次为底电极、压电材料层和顶电极；压电材料层由压电材料有效区域、压电材料外部区域、锚组成；压电材料有效区域小于空腔面积。压电材料有效区域边缘与空气接触，通过锚与压电材料外部区域连接。压电材料有效区域通过锚的支撑悬浮在空腔上方，谐振时在压电材料有效区域内部横向传播的声波在边缘被空气反射，另外谐振时只有锚束缚压电堆叠结构工作区域的振动，压电堆叠结构能够更加自由的振动，减小杂波影响的同时产生更强的电信号，从而提高薄膜体声波谐振器性能。
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公开(公告)号：CN111010127A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911333656.4
申请日：2019-12-23
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，包括基底、空腔和压电堆叠结构；压电堆叠结构从下而上依次为底电极、压电材料层和顶电极；压电材料层由压电材料有效区域、压电材料外部区域、锚组成；压电材料有效区域小于空腔面积。压电材料有效区域边缘与空气接触，通过锚与压电材料外部区域连接。压电材料有效区域通过锚的支撑悬浮在空腔上方，谐振时在压电材料有效区域内部横向传播的声波在边缘被空气反射，另外谐振时只有锚束缚压电堆叠结构工作区域的振动，压电堆叠结构能够更加自由的振动，减小杂波影响的同时产生更强的电信号，从而提高薄膜体声波谐振器性能。
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公开(公告)号：CN110995199A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911299246.2
申请日：2019-12-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 公开了一种双工器，包括基底(201)以及位于基底(201)上的接收滤波器(103)和发射滤波器(104)；接收滤波器(103)和发射滤波器(104)均包括一个或多个底部薄膜体声波谐振器(210，320)，和在所述一个或多个底部薄膜体声波谐振器(210，320)上形成的顶部薄膜体声波谐振器(220，330)；发射滤波器(104)的底部薄膜体声波谐振器(320)和顶部薄膜体声波谐振器(330)具有质量负载层。本发明通过对底部薄膜体声波谐振器(210，320)压电层厚度t1、顶部薄膜体声波谐振器(220，330)压电层厚度t2以及质量负载的厚度等的调整，可以很容易的进行谐振器谐振频率的匹配，实现双工器接收发射滤波器的单片集成，减小双工器的尺寸。
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