图案转印系统、片材和方法以及计算机程序产品

    公开(公告)号:CN115771332A

    公开(公告)日:2023-03-10

    申请号:CN202111053056.X

    申请日:2021-09-08

    摘要: 本发明提供了图案转印系统、片材和方法以及计算机程序产品。图案转印系统包括激光扫描装置、可移动台和控制器。激光扫描装置包括配置成使用激光束对源基板进行照射的激光扫描头,源基板包括以第一图案布置并且对印刷浆料进行保持的多个沟槽,源基板配置成在通过激光束照射时将印刷浆料从沟槽释放到接收基板上。接收基板能够固定地附接至可移动台。控制器配置成控制激光扫描头沿着沟槽运动以及沿着横过沟槽的扫描方向运动,并且控制器还配置成使可移动台运动以在接收基板上产生沉积浆料的第二图案。动态图案转印可以被用于适应不同宽度的接收基板以用于实现更有效的图案转印和/或实现具有高晶片生产量的一对多图案转印技术。

    图案转印片和图案转印系统

    公开(公告)号:CN216139714U

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202122130645.5

    申请日:2021-09-03

    IPC分类号: B41M5/00 H01L31/0224

    摘要: 本实用新型提供了图案转印片和图案转印系统。一种图案转印片,包括:多个沟槽,以指定图案布置,并且配置为接收印刷浆料并在由激光束照射时将印刷浆料从沟槽释放到接收衬底上,图案转印片包括以下中的至少一者:(i)至少一个迹线标记,位于指定图案的外部并且配置为接收印刷浆料,其中,至少一个迹线标记相对于沟槽中的至少一个对准,且比激光束的宽度宽;以及(ii)多个工作窗口标记,工作窗口标记位于指定图案的外部并配置为接收印刷浆料,其中,工作窗口标记相对于指定图案的指定沟槽以指定偏移量设置,并且不同的工作窗口标记以不同的偏移量设置。利用该图案转印片,能够监测和在需要时校正激光照射的位置和功率,以改善印刷品质。

    图案转印系统和图案转印片材

    公开(公告)号:CN217073715U

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202122167282.2

    申请日:2021-09-08

    摘要: 本实用新型提供了图案转印系统和图案转印片材。图案转印系统包括激光扫描装置、可移动台和控制器。激光扫描装置包括配置成使用激光束对源基板进行照射的激光扫描头,源基板包括以第一图案布置并且对印刷浆料进行保持的多个沟槽,源基板配置成在通过激光束照射时位置不变并将印刷浆料从沟槽释放到接收基板上。接收基板能够固定地附接至可移动台。控制器配置成控制激光扫描头沿着沟槽运动以及沿着横过沟槽的扫描方向运动,并且控制器还配置成使可移动台运动以在接收基板上产生沉积浆料的第二图案。动态图案转印可以被用于适应不同宽度的接收基板以用于实现更有效的图案转印和/或实现具有高晶片生产量的一对多图案转印技术。