一种高频元件加工尺寸的精度预测方法及系统

    公开(公告)号:CN112528955A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202011568332.1

    申请日:2020-12-25

    Abstract: 本发明提供了一种高频元件加工尺寸的精度预测方法及系统,属于高频元件加工质量的预测技术领域;精度预测方法包括:将加工参数和切削力的特征值输入至精度预测神经网络,获取高频元件的质量等级;训练精度预测神经网络的方法为:按照不同的尺寸精度值,将高频元件划分为不同的质量等级;将切削力数据按照不同的加工特征分段,采用特征提取方法计算切削力的特征值;将加工参数和切削力的特征值归一化预处理,作为数据样本集;训练精度预测神经网络,获取精度预测神经网络;其中,精度预测神经网络为RBF神经网络模型与DNN神经网络模型的结合。本发明采用精度预测神经网络可以更为便捷,更为准确地获取加工尺寸的预测精度。

    一种高频元件加工尺寸的精度预测方法及系统

    公开(公告)号:CN112528955B

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202011568332.1

    申请日:2020-12-25

    Abstract: 本发明提供了一种高频元件加工尺寸的精度预测方法及系统,属于高频元件加工质量的预测技术领域;精度预测方法包括:将加工参数和切削力的特征值输入至精度预测神经网络,获取高频元件的质量等级;训练精度预测神经网络的方法为:按照不同的尺寸精度值,将高频元件划分为不同的质量等级;将切削力数据按照不同的加工特征分段,采用特征提取方法计算切削力的特征值;将加工参数和切削力的特征值归一化预处理,作为数据样本集;训练精度预测神经网络,获取精度预测神经网络;其中,精度预测神经网络为RBF神经网络模型与DNN神经网络模型的结合。本发明采用精度预测神经网络可以更为便捷,更为准确地获取加工尺寸的预测精度。

    一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法

    公开(公告)号:CN110449645A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201910683822.7

    申请日:2019-07-26

    Abstract: 本发明公开了一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法,通过建立精确的FIBM仿真模型,利用原始设计的灰度图进行仿真加工,计算每仿真轮次的轮廓误差,当轮廓误差达到预设值时,停止仿真,记录此时的轮廓误差及相应的仿真加工轮次,并将该仿真加工轮次作为输入的灰度图的加工轮次,如此反复,获得多个轮廓误差修形灰度图及对应加工轮次,指导FIBM实际加工。本发明改善了传统FIBM灰度图加工存在的较大面形偏差的缺陷,实现FIBM灰度图高精度加工三维微结构,该方法适用于不同形状、不同尺度和不同材料的FIBM加工,在微纳加工领域具有极高的应用和推广价值。

    中大口径光学元件的区域选择性抛光方法、介质、设备

    公开(公告)号:CN118238015A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202410215900.1

    申请日:2024-02-27

    Abstract: 本发明公开中大口径光学元件的区域选择性抛光方法、介质、设备,涉及中大口径光学元件制造技术领域,方法包括:根据光学元件的面形误差分布,设置抛光阈值;误差大于阈值的误差点构成的区域为目标区域,其余误差点构成非目标区域;在光学元件坐标系中的XY平面构造正六边形集合,内部有部分目标区域的正六边形构成驻留区间,所有驻留区间的正六边形的顶点和中心点是抛光驻留点,将在XY平面上得到的驻留点投影到光学曲面表面;求解驻留时间;以伪随机轨迹将所有驻留点单行依次连接,得到抛光轨迹;由驻留时间和抛光轨迹计算进给速度,并转化为数控抛光程序。本发明的方法可以提高中大口径光学元件的抛光效率。

    一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法

    公开(公告)号:CN110449645B

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201910683822.7

    申请日:2019-07-26

    Abstract: 本发明公开了一种提高FIBM三维微结构面形精度的方法,通过建立精确的FIBM仿真模型,利用原始设计的灰度图进行仿真加工,计算每仿真轮次的轮廓误差,当轮廓误差达到预设值时,停止仿真,记录此时的轮廓误差及相应的仿真加工轮次,并将该仿真加工轮次作为输入的灰度图的加工轮次,如此反复,获得多个轮廓误差修形灰度图及对应加工轮次,指导FIBM实际加工。本发明改善了传统FIBM灰度图加工存在的较大面形偏差的缺陷,实现FIBM灰度图高精度加工三维微结构,该方法适用于不同形状、不同尺度和不同材料的FIBM加工,在微纳加工领域具有极高的应用和推广价值。

    一种用于FIBM加工三维微结构的灰度图生成方法及系统

    公开(公告)号:CN110781590A

    公开(公告)日:2020-02-11

    申请号:CN201910993627.4

    申请日:2019-10-18

    Abstract: 本发明公开了一种用于FIBM加工三维微结构的灰度图生成方法,先利用三维微结构设计图生成原始灰度图并建立FIBM灰度图加工的轮廓仿真模型,将原始灰度图输入仿真模型进行仿真加工,将仿真加工轮廓与设计轮廓对比得到轮廓误差,利用轮廓误差对用于仿真的灰度图进行修正得到新的灰度图,再用新的灰度图作为输入多次迭代优化,得到用于FIBM加工的最终灰度图。该发明的方法可以获得高效的FIBM加工灰度图,实现单张灰度图即可完成FIBM高精度加工三维微结构,在微纳加工领域具有极高的应用和推广价值。

    一种抛光轨迹优化方法、存储介质、电子设备

    公开(公告)号:CN118092311A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410203164.8

    申请日:2024-02-23

    Abstract: 本发明公开一种抛光轨迹优化方法、存储介质、电子设备,涉及抛光轨迹规划领域,方法包括:根据工件初始口径,在要抛光的工件区域设置螺旋线的间距、抛光轨迹点的间隔大小,生成初始螺旋抛光轨迹点;对所生成的初始螺旋形抛光轨迹点,利用随机函数控制最大偏移距离,在初始螺旋抛光轨迹点上引入随机径向补偿,生成复合抛光轨迹,对复合抛光轨迹的轨迹点进行均匀化,得到新的抛光轨迹点;对新的抛光轨迹点进行样条函数拟合,根据拟合轨迹判断是否存在轨迹之间的交叉点,若存在,重新引入随机径向补偿;直到拟合轨迹不存在轨迹之间的交叉点,得到拟合轨迹作为最终的抛光轨迹。本发明可以抑制中频误差,实现了材料去除的均匀性。

    一种用于FIBM加工三维微结构的灰度图生成方法及系统

    公开(公告)号:CN110781590B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN201910993627.4

    申请日:2019-10-18

    Abstract: 本发明公开了一种用于FIBM加工三维微结构的灰度图生成方法,先利用三维微结构设计图生成原始灰度图并建立FIBM灰度图加工的轮廓仿真模型,将原始灰度图输入仿真模型进行仿真加工,将仿真加工轮廓与设计轮廓对比得到轮廓误差,利用轮廓误差对用于仿真的灰度图进行修正得到新的灰度图,再用新的灰度图作为输入多次迭代优化,得到用于FIBM加工的最终灰度图。该发明的方法可以获得高效的FIBM加工灰度图,实现单张灰度图即可完成FIBM高精度加工三维微结构,在微纳加工领域具有极高的应用和推广价值。

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