多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩

    公开(公告)号:CN102320603A

    公开(公告)日:2012-01-18

    申请号:CN201110247520.9

    申请日:2011-08-26

    IPC分类号: C01B33/027

    摘要: 本发明涉及一种多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩,包括套筒外管(1)、套筒内管(2)、套筒封盖(3)、硅烷导气管(4)、导热油入口管(9)、导热油出口管(11)、中心管(5)、套筒夹层导热油管(6)、支撑板(7)和硅烷进气管(10),套筒外管(1)与其对应的套筒内管(2)同轴设置,分别组成第一套筒、第二套筒、第三套筒和第四套筒,硅烷导气管(4)将中心管(5)与所述四件套筒的夹层相连通,在中心管(5)中安装的导热油入口管(9)一端与第一套筒的夹层连通,第一套筒的夹层与第二套筒的夹层和第三套筒的夹层之间通过套筒夹层导热油管(6)连通;同理,第二套筒的夹层和第三套筒的夹层与第四套筒的夹层通过套筒夹层导热油管(6)连通。本发明控制硅棒表面温度效果好。

    氢化炉
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101798084A

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN201010145955.8

    申请日:2010-04-02

    IPC分类号: C01B33/03

    摘要: 本发明涉及一种氢化炉,用于对四氯化硅的综合回收利用。包括炉体(1)、底盘(2)、电极(3)和发热、隔热系统(5),氢化炉总体采用立置式,底盘(2)位于炉体(1)的下方,底盘(2)与炉体(1)底部用法兰连接,电极(3)置于底盘(2)上,发热、隔热系统(5)置于炉体(1)内,发热、隔热系统(5)的电极发热体与所述底盘(2)上的电极(3)相连,电极(3)沿底盘(2)圆周方向分五圈布置,第一圈的电极(3)与第三圈的电极(3)通过导电板(8)相连,构成电极组合一,第二圈的电极(3)与第四圈的电极(3)通过导电板(8)相连,构成电极组合二,第五圈的电极(3)单独相连,并按所述电极组合一、电极组合二和第五圈按圈单独供电。在所述发热、隔热系统(5)的上、中、下部不同位置设置测温孔(54)。本发明处理量大,四氯化硅的转化率明显增加。

    多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩

    公开(公告)号:CN202226667U

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201120314312.1

    申请日:2011-08-26

    IPC分类号: C01B33/027

    摘要: 本实用新型涉及一种多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩,包括套筒外管(1)、套筒内管(2)、套筒封盖(3)、硅烷导气管(4)、导热油入口管(9)、导热油出口管(11)、中心管(5)、套筒夹层导热油管(6)、支撑板(7)和硅烷进气管(10),套筒外管(1)与其对应的套筒内管(2)同轴设置,分别组成第一套筒、第二套筒、第三套筒和第四套筒,硅烷导气管(4)将中心管(5)与所述四件套筒的夹层相连通,在中心管(5)中安装的导热油入口管(9)一端与第一套筒的夹层连通,第一套筒的夹层与第二套筒的夹层和第三套筒的夹层之间通过套筒夹层导热油管(6)连通;同理,第二套筒的夹层和第三套筒的夹层与第四套筒的夹层通过套筒夹层导热油管(6)连通。本实用新型控制硅棒表面温度效果好。

    氢化炉
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201665540U

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201020158485.4

    申请日:2010-04-02

    IPC分类号: C01B33/03

    摘要: 本实用新型涉及一种氢化炉,用于对四氯化硅的综合回收利用。包括炉体(1)、底盘(2)、电极(3)和发热、隔热系统(5),氢化炉总体采用立置式,底盘(2)位于炉体(1)的下方,底盘(2)与炉体(1)底部用法兰连接,电极(3)置于底盘(2)上,发热、隔热系统(5)置于炉体(1)内,发热、隔热系统(5)的电极发热体与所述底盘(2)上的电极(3)相连,电极(3)沿底盘(2)圆周方向分五圈布置,第一圈的电极(3)与第三圈的电极(3)通过导电板(8)相连,构成电极组合一,第二圈的电极(3)与第四圈的电极(3)通过导电板(8)相连,构成电极组合二,第五圈的电极(3)单独相连,并按所述电极组合一、电极组合二和第五圈按圈单独供电。在所述发热、隔热系统(5)的上、中、下部不同位置设置测温孔(54)。本实用新型处理量大,四氯化硅的转化率明显增加。

    多晶硅还原炉尾气节能系统

    公开(公告)号:CN202400853U

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN201120547615.8

    申请日:2011-12-24

    IPC分类号: C01B33/035

    CPC分类号: Y02P20/124

    摘要: 本实用新型涉及一种多晶硅还原炉尾气节能系统,用于还原尾气冷却和还原炉进料汽化、加热。所述系统包括还原炉(1)、加热器(2)、汽化器(3)、混合器(4)、气气换热器(5)和冷却器(6),所述还原炉(1)的尾气出口与冷却器(6)的尾气进口连接,冷却器(6)的尾气出口与气气换热器(5)的尾气进口连接,气气换热器(5)的尾气出口与汽化器(3)的尾气进口连接,汽化器(3)的尾气出口与加热器(2)的尾气进口连接;出加热器(2)的H2和出汽化器(3)的TCS接入混合器(4),出混合器(4)的TCS和H2混合气体接入气气换热器(5),出气气换热器的TCS和H2混合气体接入还原炉。本实用新型能有效利用尾气余热提高进入还原炉的STC和H2混合气体温度,从而达到节约能源降低成本的功效。