公开(公告)号：CN118659568A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202410775135.9

申请日：2024-06-17

申请人： 江苏容道社半导体设备科技有限公司

发明人： 胡军胜 ,  张宽宽 ,  赵生龙 ,  胡根生 ,  张广东

IPC分类号： H02K5/10 ,  H02K5/16 ,  H02K5/173 ,  H02K5/15 ,  H02K7/08 ,  H02K7/14 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种电机旋转密封机构，包括上轴承安装板和气动接头，所述上轴承安装板连接在下轴承安装座的顶部，所述伺服电机的输出端通过联轴器与转轴的一端连接，且转轴的另一端与旋转支架连接。该电机旋转密封机构，旋转转轴两端各件之间加装第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈、第四密封圈，以及唇形密封圈弹簧紧固进行轴封，使得该段形成一个腔体，接着通过气动接头向腔体内通压缩氮气，从而完成两道密封，即橡胶圈密封和气体密封，并以此防止强腐蚀性的去胶化学液体泄露，避免伺服电机和其他件的腐蚀损坏及环境影响，此外此结构通过试用，完全达到中空电机通气密封的效果，且中空电机的定制费用相较成本大幅度降低。

公开(公告)号：CN221281403U

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202323278263.2

申请日：2023-12-04

申请人： 江苏容道社半导体设备科技有限公司

发明人： 胡二涛 ,  张宽宽 ,  胡根生 ,  赵生龙 ,  张广东

IPC分类号： G03F7/16

摘要： 本实用新型涉及匀胶设备技术领域，具体涉及一种晶圆匀胶设备，包括离心座，所述离心座顶部中央处嵌入安装有第一电机，所述第一电机的驱动端安装有放置仓，所述放置仓内侧安装有多组调节机构，所述调节机构上通过安装机构卡接有定位板，所述安装机构包括卡接组件和分解组件，所述卡接组件包括固定柱，所述固定柱的一侧开设有卡槽，所述卡槽内侧滑动连接有卡块，所述固定柱内部开设有与卡槽连通的固定槽，所述固定槽内侧滑动连接有固定块；本实用新型结构简单、操作方便，便于工作人员快捷更换对应尺寸的定位板，对晶圆进行快速定位。

公开(公告)号：CN221175239U

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202323268843.3

申请日：2023-12-01

申请人： 江苏容道社半导体设备科技有限公司

发明人： 胡二涛 ,  张宽宽 ,  胡根生 ,  赵生龙 ,  张广东

IPC分类号： G03F7/30 ,  G03F7/40 ,  B08B1/12

摘要： 本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种集束式匀胶显影设备，该均胶显影设备旨在解决现有技术下集束式匀胶显影设备，结构复杂，且装置的工作效率低下，降低了装置的实用性能，不能很好的满足人们的使用需求的技术问题；该均胶显影设备包括设备主体，所述设备主体正面开设有进料口，所述设备主体的内部且位于进料口相对应的位置处设有进料辊，所述设备主体的内部且位于进料辊的后方设有清洁机构，所述设备主体的内部且位于清洁机构的后方设有储料箱，所述设备主体的内部且位于储料箱的后方设有烘干室，所述烘干室的正面设有压料机构，与现有的显影设备相比较，本实用新型通过设计提高了显影设备整体的实用性。