公开(公告)号：CN114815524B

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210717425.9

申请日：2022-06-23

申请人： 江苏美信光电科技有限公司

发明人： 李凯 ,  汤丹丹

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本发明涉及光刻设备领域，具体是涉及一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有移动架，旋转式吸尘机构包括外管、内管和吸尘扁嘴，外管转动设在移动架内，内管固定设在外管内，内管的一端与外管的内腔连通，内管的另一端贯穿外管的一端并与负压源连通，内管内设有螺旋叶片，吸尘扁嘴等距设在外管外侧；带式清洁机构包括升降辊、张力辊、清洁带、升降驱动器和伺服电机，升降辊和张力辊设在移动架内，清洁带设在升降辊和张力辊外，升降驱动器设在升降辊和张力辊间，伺服电机设在移动架外，本申请通过旋转式吸尘机构可对工作台形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，通过带式清洁机构去除工作台粘着性异物。

公开(公告)号：CN114815524A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210717425.9

申请日：2022-06-23

申请人： 江苏美信光电科技有限公司

发明人： 李凯 ,  汤丹丹

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本发明涉及光刻设备领域，具体是涉及一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有移动架，旋转式吸尘机构包括外管、内管和吸尘扁嘴，外管转动设在移动架内，内管固定设在外管内，内管的一端与外管的内腔连通，内管的另一端贯穿外管的一端并与负压源连通，内管内设有螺旋叶片，吸尘扁嘴等距设在外管外侧；带式清洁机构包括升降辊、张力辊、清洁带、升降驱动器和伺服电机，升降辊和张力辊设在移动架内，清洁带设在升降辊和张力辊外，升降驱动器设在升降辊和张力辊间，伺服电机设在移动架外，本申请通过旋转式吸尘机构可对工作台形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，通过带式清洁机构去除工作台粘着性异物。