钽非晶氧化物表面层或薄壁件的制备方法

    公开(公告)号:CN1281060A

    公开(公告)日:2001-01-24

    申请号:CN00118582.9

    申请日:2000-07-07

    IPC分类号: C23C28/00

    摘要: 本发明公开了一种钽非晶氧化物表面层或薄壁件的制备方法,它是先将钽件在氢、氮低温等离子体中形成由钽的氮化物和氮在钽中的固溶体组成的表面层或薄壁件,再将该表面层或薄壁件在1A、2A族金属的硝酸熔盐中进行阳极化处理,就可得到表面粗糙度低、致密性高、硬度高、电阻率高、耐碱腐蚀性能好的氧化钽的非晶态表面层或薄壁件。本发明有机地将离子渗氮处理技术与阳极化处理技术组合在一起,可在钽喷丝头及其它场合使用。

    钽非晶氧化物表面层的制备方法

    公开(公告)号:CN1147620C

    公开(公告)日:2004-04-28

    申请号:CN00118582.9

    申请日:2000-07-07

    IPC分类号: C23C28/00

    摘要: 本发明公开了一种钽非晶氧化物表面层的制备方法,它是先将钽件在氢、氮低温等离子体中形成由钽的氮化物和氮在钽中的固溶体组成的表面层,再将该表面层在I A、II A族金属的硝酸熔盐中进行阳极化处理,就可得到表面粗糙度低、致密性高、硬度高、电阻率高、耐碱腐蚀性能好的氧化钽的非晶态表面层。本发明有机地将离子渗氮处理技术和阳极化处理技术组合在一起,可在钽喷丝头及其它场合使用。