一种应用于真空机械手立柱的升降轴装置

    公开(公告)号:CN115126841B

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202210866228.3

    申请日:2022-07-22

    摘要: 本发明属于真空机械手技术领域,具体地说是一种应用于真空机械手立柱的升降轴装置,包括立柱上法兰及机械手主驱动部件,立柱上法兰与机械手主驱动部件之间通过波纹管连接,还包括动力输出组件及动力传动组件,动力输出组件及动力传动组件分别安装于立柱上法兰上,波纹管穿过动力输出组件,动力传动组件分别与动力输出组件及机械手主驱动部件连接,动力输出组件通过驱动动力传动组件动作、进而带动机械手主驱动部件升降。本发明可充分利用现有技术中的立柱上半部波纹管外侧的环形空闲区域,采用全新的动力输出结构,合理利用立柱内部有效空间,在总升降行程不变的情况下,可大幅度将立柱高度缩短。

    一种应用于真空机械手立柱的升降轴装置

    公开(公告)号:CN115126841A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202210866228.3

    申请日:2022-07-22

    摘要: 本发明属于真空机械手技术领域,具体地说是一种应用于真空机械手立柱的升降轴装置,包括立柱上法兰及机械手主驱动部件,立柱上法兰与机械手主驱动部件之间通过波纹管连接,还包括动力输出组件及动力传动组件,动力输出组件及动力传动组件分别安装于立柱上法兰上,波纹管穿过动力输出组件,动力传动组件分别与动力输出组件及机械手主驱动部件连接,动力输出组件通过驱动动力传动组件动作、进而带动机械手主驱动部件升降。本发明可充分利用现有技术中的立柱上半部波纹管外侧的环形空闲区域,采用全新的动力输出结构,合理利用立柱内部有效空间,在总升降行程不变的情况下,可大幅度将立柱高度缩短。