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1.

发明授权
一种多工位检测机械手真空状态的装置有权

公开(公告)号：CN107192499B

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201710513193.4

申请日：2017-06-29

申请人： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司

发明人： 马壮 , 徐春旭 , 赵鹏 , 李孟鸿

IPC分类号： G01L21/00

摘要： 本发明属于半导体制程设备技术领域，具体地说是一种多工位检测机械手真空状态的装置。包括压紧机构、真空管路、锁紧机构、导柱、支撑架及底板，其中底板上设有两个导柱，多个依次弹性连接的压紧机构与两个导柱滑动配合，各压紧机构分别与一真空管路连接，多个压紧机构的一侧或两侧设有与底板连接的支撑架，支撑架上设有锁紧机构，锁紧机构用于锁紧位于最上方的压紧机构，相邻两个压紧机构之间的空间为检测机械手的测量工位。本发明具有多个测量工位，可有效的对机械手的真空状态进行反复的检测和试验，大大提高了机械手在工作过程中的稳定性和可靠性，降低了不良品被装入设备的风险。