公开(公告)号：CN114965362A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210555112.8

申请日：2022-05-19

申请人： 河北工程大学

发明人： 刘秀红 ,  史超颖 ,  胡劲华 ,  赵继军 ,  韩海燕 ,  朱巧芬

IPC分类号： G01N21/41

摘要： 本发明公开了一种基于双层凹型光栅结构的高通量集成光学传感器，包括两层复合光栅层和中间夹层，两层复合光栅层分别在所述中间夹层的上、下面，所述复合光栅层为凹型光栅结构，包括若干周期性单元，每个周期性单元包括若干周期或非周期排列的微纳光栅，所述微纳光栅远离中间夹层的一端刻蚀凹槽，所述微纳光栅的光栅横截面为凹型，相邻两个微纳光栅之间具有气隙。本发明基于当前光学传感器的研究现状和谐振波导光栅的优势，结构简单，制备方便，通过设计凹型光栅结构，实现对不同模式的调控。

公开(公告)号：CN217332164U

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202221223440.X

申请日：2022-05-19

申请人： 河北工程大学

发明人： 刘秀红 ,  史超颖 ,  胡劲华 ,  赵继军 ,  韩海燕 ,  朱巧芬

IPC分类号： G01N21/41

摘要： 本实用新型公开了一种基于双层凹型光栅结构的高通量集成光学传感器，包括两层复合光栅层和中间夹层，两层复合光栅层分别在所述中间夹层的上、下面，所述复合光栅层为凹型光栅结构，包括若干周期性单元，每个周期性单元包括若干周期或非周期排列的微纳光栅，所述微纳光栅远离中间夹层的一端刻蚀凹槽，所述微纳光栅的光栅横截面为凹型，相邻两个微纳光栅之间具有气隙。本实用新型基于当前光学传感器的研究现状和谐振波导光栅的优势，结构简单，制备方便，通过设计凹型光栅结构，实现对不同模式的调控。