专利检索 ap:("河北晟华新材料科技有限公司" OR "内蒙古科技大学") AND inv:"苏婷" 第 1 页

1.

发明公开
一种铝基管状靶材的制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN115725943A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202211474565.4

申请日：2022-11-23

申请人： 河北晟华新材料科技有限公司 , 内蒙古科技大学

发明人： 李群 , 杨礼林 , 许鹏国 , 苏婷

IPC分类号： C23C14/34 , B22F3/00 , B22F3/15 , B22F5/00

摘要： 本发明属于粉末冶金技术领域，公开了一种铝基管状靶材的制备方法，包括：包套组装、原料混合、粉末装填、包套除气、热等静压处理、成品加工等工艺步骤。本发明将靶材成型以及靶材与背管的绑定工序合二为一，省去了绑定工序，显著缩短生产周期并降低生产成本；在背管外壁与靶材内壁形成一层含锌的粘结层作为冶金过渡层，增强了靶材与背管的结合强度以及溅射过程中热量的传递，可适用于大功率溅射；基于热等静压工艺制备铝基管状靶材，避免了脆性的铝基金属间化合物的生成，为制备铝基多元管靶提供了有益参考。