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公开(公告)号：CN110195213B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN201910507205.1
申请日：2019-06-12
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构与方法，包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；所述靶材具有数个并且沿镀膜室的轴向拼接，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，数个靶材均连接有外部电源；所述磁铁呈片状，在镀膜室的轴向上依次层叠，与各个靶材分别对应布置。本发明可根据需镀膜层的不同要求，设计不同长度的靶材及其组合，然后根据靶材的组成情况，装配于相应长度的固定套管内，而磁铁也可根据靶材长度层叠至相应长度位置，提高内腔式镀膜设备的适应性。
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公开(公告)号：CN111156718A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010045080.8
申请日：2020-01-16
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种定向爆破式全玻璃真空集热管，包括外玻璃管和内玻璃管，所述内玻璃管的两端均为闭合结构，所述内玻璃管的一端通过卡子固定在所述外玻璃管内侧，其另一端的冷凝段伸出所述外玻璃管，所述内玻璃管上位于所述外玻璃管的一端外表面设有选择性吸收膜层，所述卡子的外侧中部设有位于所述外玻璃管内侧的吸气剂，所述内玻璃管上冷凝段的圆头部垂直设置有定向爆破环。本发明采用上述一种定向爆破式全玻璃真空集热管及制作方法，当内管腔室的压力超过设定值时，冷凝段的定向爆破环就会裂开，不会影响集热器的正常使用。
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公开(公告)号：CN110205596A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910507203.2
申请日：2019-06-12
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种内腔式磁控溅射设备的传动结构与方法，所述内腔式磁控溅射设备具有中空腔室，所述传动结构包括传动杆，所述传动杆穿入所述中空腔室内，两端分别从所述中空腔室中伸出，在传动杆的外表面设有传动螺纹，并且在传动杆上套设有与传动螺纹形成螺纹连接的传动支架，每根镀膜管凭借数个传动支架套置在传动杆上，而且所述镀膜管的重心低于传动杆的回转中心一定幅度或者在所述镀膜管内下部置入有配重装置，使镀膜管无法自转。传动杆旋转动作，传动支架带动镀膜管从传动杆的一端穿入所述中空腔室，然后从传动杆的另一端穿出所述中空腔室，并在穿过中空腔室的过程中完成磁控溅射镀膜。
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公开(公告)号：CN110205595A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910507198.5
申请日：2019-06-12
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备与方法，包括中空腔室以及传动结构，所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出；而所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成，在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封；在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空；所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述靶材通过电源线连接至外部电源，在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。本发明可提高靶材利用率，提高镀膜速度以及镀膜质量。
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公开(公告)号：CN109631352A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910037470.8
申请日：2019-01-15
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种薄膜温差发电耦合选择性吸收涂层制法及其集热管制法，所述吸收涂层制法包括：将第一绝缘层成型在金属管的外壁上；将PN结层成型在第一绝缘层的外壁上；将第二绝缘层成型在所述PN结层外侧；将选择性吸收涂层成型在所述第二绝缘层的外壁上。所述集热管制法则包括钢管镀膜、罩玻璃前处理、小金属件前处理、总成装配、真空排气、检测以及包装等步骤。本发明将薄膜温差发电耦合选择性吸收涂层生产线完美的融合到现有的玻璃金属熔封太阳能集热管生产线中，仅需要在现有的选择性吸收涂层镀膜工艺中所采用真空镀膜设备中适当的增加PN涂层的真空镀膜装置和工位，以及激光或等离子刻蚀装备即可。
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公开(公告)号：CN110205595B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN201910507198.5
申请日：2019-06-12
申请人： 北京道荣新兴能源有限公司 , 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种内腔式连续磁控溅射镀膜设备与方法，包括中空腔室以及传动结构，所述传动结构能够带动镀膜管从中空腔室的一端进入并由另一端穿出；而所述中空腔室由进管室、连续镀膜室以及出管室依次连通组成，在进管室的两端以及在出管室的两端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封；在进管室、连续镀膜室以及出管室上分别设有抽气口，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别抽真空；所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述靶材通过电源线连接至外部电源，在连续镀膜室上设有贯通内外的布气管。本发明可提高靶材利用率，提高镀膜速度以及镀膜质量。
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公开(公告)号：CN109631353A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910045403.0
申请日：2019-01-17
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种薄膜光伏发电耦合选择性吸收涂层制法及其集热管制法，所述吸收涂层制法包括：在金属管的外壁上依次成型：陶瓷绝缘层、金属导电层、高电阻选择性吸收涂层耦合金属栅极层、内侧透明导电涂层、光伏薄膜层、透明导电涂层耦合金属栅极层以及减反层，所述高电阻选择性吸收涂层耦合金属栅极层包括内侧金属栅极层、高电阻选择性吸收涂层以及内侧电极涂带；所述透明导电涂层耦合金属栅极层包括外侧金属栅极层、外侧透明导电涂层以及与外侧电极涂带，通过电极涂带将光伏电压传导出来。本发明将薄膜光伏发电耦合选择性吸收涂层生产线完美的融合到现有的玻璃金属熔封太阳能集热管生产线中，降低了成本。
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公开(公告)号：CN109631353B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201910045403.0
申请日：2019-01-17
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种薄膜光伏发电耦合选择性吸收涂层制法及其集热管制法，所述吸收涂层制法包括：在金属管的外壁上依次成型：陶瓷绝缘层、金属导电层、高电阻选择性吸收涂层耦合金属栅极层、内侧透明导电涂层、光伏薄膜层、透明导电涂层耦合金属栅极层以及减反层，所述高电阻选择性吸收涂层耦合金属栅极层包括内侧金属栅极层、高电阻选择性吸收涂层以及内侧电极涂带；所述透明导电涂层耦合金属栅极层包括外侧金属栅极层、外侧透明导电涂层以及与外侧电极涂带，通过电极涂带将光伏电压传导出来。本发明将薄膜光伏发电耦合选择性吸收涂层生产线完美的融合到现有的玻璃金属熔封太阳能集热管生产线中，降低了成本。
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公开(公告)号：CN109631352B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201910037470.8
申请日：2019-01-15
申请人： 河北道荣新能源科技有限公司
摘要： 本发明提供一种薄膜温差发电耦合选择性吸收涂层制法及其集热管制法，所述吸收涂层制法包括：将第一绝缘层成型在金属管的外壁上；将PN结层成型在第一绝缘层的外壁上；将第二绝缘层成型在所述PN结层外侧；将选择性吸收涂层成型在所述第二绝缘层的外壁上。所述集热管制法则包括钢管镀膜、罩玻璃前处理、小金属件前处理、总成装配、真空排气、检测以及包装等步骤。本发明将薄膜温差发电耦合选择性吸收涂层生产线完美的融合到现有的玻璃金属熔封太阳能集热管生产线中，仅需要在现有的选择性吸收涂层镀膜工艺中所采用真空镀膜设备中适当的增加PN涂层的真空镀膜装置和工位，以及激光或等离子刻蚀装备即可。
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