公开(公告)号：CN118746564A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202410747358.4

申请日：2024-06-11

Applicant: 河南工业大学

Inventor： 付麦霞 ,  张田田 ,  刘梦祎 ,  王东东 ,  刘志辉 ,  崔雯琪 ,  王华婷

IPC: G01N21/3586 ,  G01N21/01 ,  G01N21/59

Abstract: 一种基于动态可调谐双等离子体诱导透明的太赫兹传感器及其制备方法，传感器由多个单元结构按N×N周期排列组成；每个单元结构均包括矩形的衬底层和石墨烯图案结构层，石墨烯图案结构层包括一个设置在对应衬底层顶部的中部的石墨烯圆环和四个环绕石墨烯圆环分布的石墨烯矩形条，每个石墨烯矩形条分别位于衬底层四个侧边的位置并沿对应侧边的长度方向设置，四个石墨烯矩形条与石墨烯圆环之间的间距均等。制备方法：先将二氧化硅衬底层上生长石墨烯薄膜，再通过光刻胶的曝光和显影步骤，将所需图案转移到石墨烯表面，再利用化学蚀刻或等离子体刻蚀去除光刻图案之外的石墨烯区域，形成所需的石墨烯图案结构层。本发明结构简单灵敏度高，且具备多PIT窗口。

公开(公告)号：CN118258788A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410175759.7

申请日：2024-02-07

Applicant: 河南工业大学

Inventor： 付麦霞 ,  张田田 ,  牛营营 ,  郭韶帅 ,  王召迎 ,  刘雪莹

IPC: G01N21/41 ,  G01N21/39

Abstract: 本发明涉及一种可调谐石墨烯超材料三频太赫兹折射率传感器，包含衬底层、介质层和石墨烯层，所述石墨烯层包括多个单元结构，所述单元结构包括十字形结构和四个V字形结构，四个所述V字形结构大小和夹角相同，且呈中心对称排布于十字形结构的四周，多个所述单元结构在介质层上沿X和Y方向方形等距阵列，所述介质层和石墨烯层紧密贴合。本发明增加更多频带吸收的可能性，提高了对复杂环境中目标物质的检测和识别能力，本发明传感效果优良、调控范围广、具有高选择、高吸收、偏振极化角度不敏感特性。

公开(公告)号：CN117007186A

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN202310951279.0

申请日：2023-07-31

Applicant: 河南工业大学

Inventor： 付麦霞 ,  叶玉超 ,  段宇乐 ,  周飞 ,  李寅生 ,  张田田

IPC: G01J3/427 ,  G01J3/12 ,  G01N21/3586

Abstract: 本发明属于传感器件技术领域，特别涉及一种基于石墨烯的超材料双频太赫兹传感器，包括在x、y方向呈周期性排列的单元结构，所述单元结构呈三层结构，自上而下依次包括石墨烯层、介质层和衬底层，所述石墨烯层由两个平行设置的横向石墨烯条和两个平行设置的竖向石墨烯条组成，两个横向石墨烯条的外形尺寸完全相同，两个竖向石墨烯条的外形尺寸完全相同。本发明通过石墨烯条处的电偶极子共振和磁偶极子共振共同作用，该传感器实现双频带吸收，与单频带吸收相比，样本检测准确性更高；该器件传感效果优良，动态可调谐。