公开(公告)号：CN102418067A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110370335.9

申请日：2011-11-03

申请人： 河南工业职业技术学院

发明人： 刘旸 ,  胡雪梅 ,  张咏梅 ,  连晗 ,  周伟 ,  张丽 ,  冉文东 ,  王毅 ,  华显立

IPC分类号： C23C14/00

摘要： 本发明公开了一种真空镀膜机多片式比较片装置，具有比较片的装载及换位机构、转动密封馈入机构和换位驱动机构，其中：所述装载及换位机构由拨动盘、支承盘、上盘和比较片存储筒组成，由单片玻璃作为一个比较片单元，多片玻璃叠加安装在一个存储筒内，所述拨动盘的轴由联轴器和密封馈入机构的轴连接；所述转动密封馈入机构由威尔逊密封机构和轴承座组成；所述换位驱动机构由电机、主动齿轮、被动齿轮和定位盘组成，所述被动齿轮和定位盘固定在密封馈入机构的轴上，所述定位盘上由3个均分120度的狭缝，槽型光藕在狭缝位置接受到光信号，控制电机的旋转和停止。具有结构简单，比较片装卸方便，定位重性复好，可靠性高、制造成本低。