一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统

    公开(公告)号:CN113877228B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202111163866.0

    申请日:2021-09-30

    IPC分类号: B01D3/14 C01B17/45

    摘要: 本发明涉及一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统,包括精馏提纯单元和尾气处理单元,尾气处理单元用于将从精馏提纯单元中排出的尾气中的六氟化硫气体回收,包括六氟化硫循环回收气路和废气排出管路;六氟化硫循环回收气路上串设有膜分离器和六氟化硫回收罐,膜分离器具有供尾气进入的膜分离器进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口,六氟化硫回收罐具有与膜分离器进气口连接的回收罐第一出口和与气体入口连接的回收罐第二出口,以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口并进行再次精馏提纯。本发明通过对从精馏提纯单元中排出的尾气进行循环处理,将回收的六氟化硫重新精馏提纯,进而提高六氟化硫回收利用率。

    一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统

    公开(公告)号:CN113877228A

    公开(公告)日:2022-01-04

    申请号:CN202111163866.0

    申请日:2021-09-30

    IPC分类号: B01D3/14 C01B17/45

    摘要: 本发明涉及一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统,包括精馏提纯单元和尾气处理单元,尾气处理单元用于将从精馏提纯单元中排出的尾气中的六氟化硫气体回收,包括六氟化硫循环回收气路和废气排出管路;六氟化硫循环回收气路上串设有膜分离器和六氟化硫回收罐,膜分离器具有供尾气进入的膜分离器进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口,六氟化硫回收罐具有与膜分离器进气口连接的回收罐第一出口和与气体入口连接的回收罐第二出口,以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口并进行再次精馏提纯。本发明通过对从精馏提纯单元中排出的尾气进行循环处理,将回收的六氟化硫重新精馏提纯,进而提高六氟化硫回收利用率。