公开(公告)号：CN114934258B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202210573029.3

申请日：2022-05-24

申请人： 河南科技学院

发明人： 张明明 ,  蒋成洋 ,  丰敏 ,  王雅慧 ,  胡庆梅 ,  梁愉 ,  李钰 ,  吴婷婷 ,  马利杰 ,  张亚奇 ,  冯宜鹏 ,  付成果 ,  赵红远 ,  李勇峰 ,  苏建修

IPC分类号： C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

摘要： 本发明涉及金属材料表面防护涂层领域，具体为一种SiAlON涂层的制备方法。将预处理后的将钢和合金基体悬挂在样品架上，采用AlSi合金作为阴极靶材，将工作腔室抽真空后通入Ar，开启偏压电源进行高能离子轰击清洗，通入N2和O2调节工作压强，施加负偏压并调节占空比后，开启AlSi合金靶材电流，进行沉积。本发明制备的SiAlON涂层与基体结合强度良好，该涂层由晶态AlN、Si、非晶态Al2O3、SiO2和Si3N4，维氏硬度值在3000HV以上，热稳定性好，能为基体提供良好的高温防护性能。本发明的涂层制备技术具有沉积速率高，工艺简便，易于实现，能量利用效率高，具有环境友好及能耗低等优点。

公开(公告)号：CN114934258A

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202210573029.3

申请日：2022-05-24

申请人： 河南科技学院

发明人： 张明明 ,  蒋成洋 ,  丰敏 ,  王雅慧 ,  胡庆梅 ,  梁愉 ,  李钰 ,  吴婷婷 ,  马利杰 ,  张亚奇 ,  冯宜鹏 ,  付成果 ,  赵红远 ,  李勇峰 ,  苏建修

IPC分类号： C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

摘要： 本发明涉及金属材料表面防护涂层领域，具体为一种SiAlON涂层的制备方法。将预处理后的将钢和合金基体悬挂在样品架上，采用AlSi合金作为阴极靶材，将工作腔室抽真空后通入Ar，开启偏压电源进行高能离子轰击清洗，通入N2和O2调节工作压强，施加负偏压并调节占空比后，开启AlSi合金靶材电流，进行沉积。本发明制备的SiAlON涂层与基体结合强度良好，该涂层由晶态AlN、Si、非晶态Al2O3、SiO2和Si3N4，维氏硬度值在3000HV以上，热稳定性好，能为基体提供良好的高温防护性能。本发明的涂层制备技术具有沉积速率高，工艺简便，易于实现，能量利用效率高，具有环境友好及能耗低等优点。