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发明公开
一种低温漂的应变片式压力传感器审中-实审

公开(公告)号：CN118168697A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410249736.6

申请日：2024-03-05

申请人： 河南驼人医疗器械集团有限公司 , 中国科学院力学研究所

发明人： 苏业旺 , 周联巧 , 王树刚 , 李沁蓝 , 徐新凯 , 魏爽 , 张春柯 , 杨静

IPC分类号： G01L1/22 , G01L9/04

摘要： 本发明公开了一种低温漂的应变片式压力传感器，包括外壳体、支撑块和敏感元件，敏感元件包括薄膜基底和敏感丝栅，所述薄膜基底由低弹性模量的材料制备，所述敏感元件沿薄膜基底一侧自中心区域向外分别设有温度补偿环形结构、内侧环向布置丝栅结构和外侧径向布置丝栅结构。所述温度补偿环形结构用于调节传感器的温度敏感系数。相比于常见的应变片式压力传感器，本方案可以同时实现较高的压力灵敏度和较低的温度敏感系数，从而满足在环境温度变化情况下对压力进行准确测量的需求。