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公开(公告)号：CN113970370B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202010722645.1
申请日：2020-07-24
申请人： 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
发明人： 叶顺成
IPC分类号： G01H17/00
摘要： 本申请公开了一种研磨平台的振动监测系统及振动监测方法，其中，所述研磨平台的振动检测系统在皮带的传送面两侧分别设置第一监测模块和第二监测模块，并利用第一监测模块向所述皮带的传送面发送监测信号，利用所述第二监测模块接收除被所述皮带遮挡的监测信号外剩余的监测信号，并根据接收到的监测信号监测所述皮带的异常状态，实现对研磨平台的工作状态的监测，为判断研磨平台的工作状态是否异常奠定了基础，解决了现有技术中由于皮带的异常振动而导致研磨平台对晶圆的异常研磨的问题，避免了因此问题而导致的晶圆破损或晶圆制程不良。(56)对比文件TW 402756 B,2000.08.21王广丰;许洪强;熊永超;潘宏歌;钟海娜.钢绳芯输送带纵向撕裂监测系统的研究.矿山机械.2005,(12),全文.谢求泉 .单面铜盘研磨机的运动与动力分析. 硕士电子期刊出版工程科技Ⅰ辑.2020,全文.He Qing.Realization of PolishingUniformity in Megasonic VibrationAssisted Chemical MechanicalPolishing.NANOTECHNOLOGY AND PRECISIONENGINEERING.2017,全文.
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公开(公告)号：CN112743447A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011644887.X
申请日：2020-12-31
申请人： 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
发明人： 叶顺成
摘要： 本发明公开了一种转轴角度确认机构及硅片研磨装置，涉及硅片制造技术领域。一种转轴角度确认机构包括支撑平台、光源和两个接收杆，支撑平台用于安装转轴，转轴穿过支撑平台的支撑面，光源设置在转轴的侧壁上，两个接收杆分别垂直安装在支撑平台上，且两个接收杆相互平行，光源发出的光线随着转轴的转动照射在两个接收杆上。上述转轴角度确认机构通过测量设置在转轴上的光源的光线照射在两个平行且垂直于支撑平台的接收杆上的位置，确定转轴安装是否正常以及转轴与支撑平台之间是否存在异物，可以在硅片研磨之前确认转轴安装是否存在偏移，缩短了验证时间，有效避免了因转轴安装不良引起的硅片质量异常或者破片，减少了经济损失。
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公开(公告)号：CN113970370A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202010722645.1
申请日：2020-07-24
申请人： 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
发明人： 叶顺成
IPC分类号： G01H17/00
摘要： 本申请公开了一种研磨平台的振动监测系统及振动监测方法，其中，所述研磨平台的振动检测系统在皮带的传送面两侧分别设置第一监测模块和第二监测模块，并利用第一监测模块向所述皮带的传送面发送监测信号，利用所述第二监测模块接收除被所述皮带遮挡的监测信号外剩余的监测信号，并根据接收到的监测信号监测所述皮带的异常状态，实现对研磨平台的工作状态的监测，为判断研磨平台的工作状态是否异常奠定了基础，解决了现有技术中由于皮带的异常振动而导致研磨平台对晶圆的异常研磨的问题，避免了因此问题而导致的晶圆破损或晶圆制程不良。
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公开(公告)号：CN112743447B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202011644887.X
申请日：2020-12-31
申请人： 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
发明人： 叶顺成
摘要： 本发明公开了一种转轴角度确认机构及硅片研磨装置，涉及硅片制造技术领域。一种转轴角度确认机构包括支撑平台、光源和两个接收杆，支撑平台用于安装转轴，转轴穿过支撑平台的支撑面，光源设置在转轴的侧壁上，两个接收杆分别垂直安装在支撑平台上，且两个接收杆相互平行，光源发出的光线随着转轴的转动照射在两个接收杆上。上述转轴角度确认机构通过测量设置在转轴上的光源的光线照射在两个平行且垂直于支撑平台的接收杆上的位置，确定转轴安装是否正常以及转轴与支撑平台之间是否存在异物，可以在硅片研磨之前确认转轴安装是否存在偏移，缩短了验证时间，有效避免了因转轴安装不良引起的硅片质量异常或者破片，减少了经济损失。
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