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公开(公告)号：CN104919580A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201380046837.3
申请日：2013-07-09
Applicant: 法国圣戈班玻璃厂
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67393 , F27B5/16 , F27B2005/062 , F27B2005/162 , F27D7/06 , F27D2007/063 , H01L21/67353
Abstract: 本发明涉及一种用于对物体，尤其带涂层的衬底进行热处理的装置，其具有尤其可气密性密封的壳体，壳体封闭了中空的空间，其中中空的空间具有分隔壁，通过该分隔壁将中空的空间分隔成用于容纳物体的处理空间，以及中间空间，其中分隔壁具有一个或多个开口，开口被实现成使得分隔壁用作阻碍处理空间中由于物体的热处理而产生的气态物质从处理空间扩散到中间空间中的阻隔。壳体具有联接在用于对其进行主动冷却的冷却装置上的至少一个壳体部段，其中分隔壁设置在物体和可冷却的壳体部段之间。本发明还涉及在用于对物体进行热处理的装置中使用分隔壁作为扩散阻隔，以及相对应的用于对物体进行热处理的方法。
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公开(公告)号：CN104919579A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201380046832.0
申请日：2013-07-09
Applicant: 法国圣戈班玻璃厂
IPC: H01L21/673
CPC classification number: B05D1/60 , B05C5/001 , H01L21/67353 , H01L21/67393
Abstract: 本发明涉及一种用于处理被覆层的基质的工艺盒，其带有以下特征：可气密地封闭的壳体，其形成空腔；该壳体包括至少一个壳体截段，其构造成使得基质通过射到该壳体截段上的电磁热辐射可热处理；该壳体具有可与用于其冷却的冷却装置联结的至少一个壳体截段和至少一个不可冷却的壳体截段；空腔被至少一个间隔壁划分成用于容纳基质的处理腔和中间腔，其中，间隔壁具有一个或多个开口且布置在基质与可调温的壳体截段之间；壳体设有通到空腔中的、可封闭的至少一个气体通引部用于排空和将过程气体引入空腔中。此外，其涉及用于处理被覆层的基质的组件和方法，在其中工艺盒的至少一个壳体截段在热处理期间和/或之后被冷却且通过设有一个或多个开口的间隔壁来阻碍在热处理期间所产生的气态物质扩散至被调温的壳体截段，间隔壁布置在被覆层的基质与被调温的壳体截段之间。
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公开(公告)号：CN104919580B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201380046837.3
申请日：2013-07-09
Applicant: 法国圣戈班玻璃厂
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67393 , F27B5/16 , F27B2005/062 , F27B2005/162 , F27D7/06 , F27D2007/063 , H01L21/67353
Abstract: 本发明涉及一种用于对物体，尤其带涂层的衬底进行热处理的装置，其具有尤其可气密性密封的壳体，壳体封闭了中空的空间，其中中空的空间具有分隔壁，通过该分隔壁将中空的空间分隔成用于容纳物体的处理空间，以及中间空间，其中分隔壁具有一个或多个开口，开口被实现成使得分隔壁用作阻碍处理空间中由于物体的热处理而产生的气态物质从处理空间扩散到中间空间中的阻隔。壳体具有联接在用于对其进行主动冷却的冷却装置上的至少一个壳体部段，其中分隔壁设置在物体和可冷却的壳体部段之间。本发明还涉及在用于对物体进行热处理的装置中使用分隔壁作为扩散阻隔，以及相对应的用于对物体进行热处理的方法。
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