公开(公告)号：CN117316832B

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311598543.3

申请日：2023-11-28

申请人： 泗洪红芯半导体有限公司

发明人： 唐军辉 ,  崔群 ,  王毅 ,  李海琳 ,  胡学同 ,  陆叶兴

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 本发明公开了真空自动快速开关智能化系统，涉及自动化设备技术领域。包括控制终端、真空泵、储存腔室、连接管路、控制机构和执行机构；控制终端、控制机构和执行机构之间电性连接，真空泵、储存腔室和执行机构之间通过连接管路相互连通。设置的自动化控制结构在半导体行业首次使用到一贯机自动化设备且3S时间内实现真空开关快速智能化切换；同时本发明简单实用、低成本、通用性强具有产业上推广利用价值，设置的自动化控制结构可以在设备停机时自动进行关闭，从而避免了真空会通过待机状态的转盘吸笔、定位导模流失浪费，同时避免真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞。

公开(公告)号：CN117316832A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311598543.3

申请日：2023-11-28

申请人： 泗洪红芯半导体有限公司

发明人： 唐军辉 ,  崔群 ,  王毅 ,  李海琳 ,  胡学同 ,  陆叶兴

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 本发明公开了真空自动快速开关智能化系统，涉及自动化设备技术领域。包括控制终端、真空泵、储存腔室、连接管路、控制机构和执行机构；控制终端、控制机构和执行机构之间电性连接，真空泵、储存腔室和执行机构之间通过连接管路相互连通。设置的自动化控制结构在半导体行业首次使用到一贯机自动化设备且3S时间内实现真空开关快速智能化切换；同时本发明简单实用、低成本、通用性强具有产业上推广利用价值，设置的自动化控制结构可以在设备停机时自动进行关闭，从而避免了真空会通过待机状态的转盘吸笔、定位导模流失浪费，同时避免真空会把周围粉尘通过真空吸入转盘真空腔体、转盘吸笔、定位导模等真空气路通道引起堵塞。