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公开(公告)号:CN109641697B
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN201780050417.0
申请日:2017-07-19
申请人: 泰克尼普法国公司
摘要: 本气体分配器具有至少一个长横臂,所述长横臂具有两个侧壁,两个侧壁的上部是倾斜的,两个侧壁之间在它们各自上边缘处连接并且两个侧壁之间限定向下连通的气体流动室(46)。气体分配器具有至少一个加强机构(34),加强机构布置在长横臂上限定的气体流动室(46)中,加强机构(34)具有中央竖板(54)和至少一个角形件(56),所述中央竖板在所述气体流动室(46)中纵向延伸,所述至少一个角形件横向固定在中央竖板(54)与长横臂的侧壁之间。
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公开(公告)号:CN109641697A
公开(公告)日:2019-04-16
申请号:CN201780050417.0
申请日:2017-07-19
申请人: 泰克尼普法国公司
摘要: 本气体分配器具有至少一个长横臂,所述长横臂具有两个侧壁,两个侧壁的上部是倾斜的,两个侧壁之间在它们各自上边缘处连接并且两个侧壁之间限定向下连通的气体流动室(46)。气体分配器具有至少一个加强机构(34),加强机构布置在长横臂上限定的气体流动室(46)中,加强机构(34)具有中央竖板(54)和至少一个角形件(56),所述中央竖板在所述气体流动室(46)中纵向延伸,所述至少一个角形件横向固定在中央竖板(54)与长横臂的侧壁之间。
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