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公开(公告)号：CN116988017A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310940469.2
申请日：2023-07-28
Applicant: 济南大学
Abstract: 本发明属于微纳米尺度的柔性电子器件技术领域，具体涉及一种多层堆叠的氧化物薄膜的制备方法。通过在衬底与薄膜之间引入牺牲层，可将薄膜与衬底分离，转移至任意目标位置，实现几种不同功能特性的自支撑薄膜或异质结构薄膜按不同顺序或角度堆叠，并依靠范德瓦尔斯力结合在一起。本发明通过不同方法堆叠自支撑单层氧化物薄膜，实现多层功能氧化物薄膜层数、角度的调控，从而控制功能氧化物薄膜层间相互作用，实现对物理特性以及新物性的调控，这不仅有利于研究复杂氧化物转角电子学（Twistronics）的物理机制，也为多功能柔性电子材料提供了材料基础。
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