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公开(公告)号：CN106370527A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610873631.3
申请日：2016-10-08
IPC分类号： G01N3/18
CPC分类号： G01N3/18 , G01N2203/0003 , G01N2203/0017 , G01N2203/0226 , G01N2203/06 , G01N2203/0641 , G01N2203/0682
摘要： 本发明公开了一种扫描电子显微镜中原位高温微观力学测试装置，包括控制系统、拉伸测试装置、加热装置及固定装置，拉伸测试装置设置有一容置空间，加热装置设置于容置空间内，拉伸测试装置与加热装置的底端均与固定装置连接，固定装置的底端与扫描电镜的样品支撑架固定连接；拉伸测试装置、加热装置及固定装置均设置在扫描电子显微镜的腔室内，扫描电子显微镜、拉伸测试装置及加热装置均与控制系统电连接。本发明中测试装置结构紧凑，可方便安装在显微镜中，加热装置的设置使测试能够在高温载荷条件下进行，方便实现扫描电子束对高温载荷和应力载荷作用下测试样品原位成像动态观察，同时获取同一观察微区域中样品的成分信息谱及晶体结构信息图。
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公开(公告)号：CN106252186A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610872996.4
申请日：2016-10-08
IPC分类号： H01J37/24
摘要： 本发明提供了一种应用于扫描电镜中的加热装置，该装置包括：样品坩埚、加热芯陶瓷、电热丝、热辐射屏蔽结构，样品坩埚布置于所述加热芯陶瓷的上端；电热丝以双螺旋的形式缠绕于所述加热芯陶瓷表面，且对加热芯陶瓷加热，电热丝的材料为掺杂钨丝；热辐射屏蔽结构包括内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层、上不锈钢屏蔽层、次上不锈钢屏蔽层以及屏蔽底座；内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层层与层之间均为真空，上述三层的直径比例由热损失方程确定。本发明提供的加热装置加热效率高、体积小、屏蔽效果好，克服了现有技术中加热装置影响扫描电正常工作的缺陷。
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公开(公告)号：CN105388327A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510769697.3
申请日：2015-11-11
摘要： 一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置属于材料微结构与性能原位表征领域。本装置采用双梯形丝杠传动系统，装置刚度大，测试精度高；在扫描电镜中运行平稳，机械噪声小，对扫描电镜成像干扰低；梯形丝杠具有自锁性能，可以在任意时刻暂停测试和启动测试，测试数据连续性好；样品夹具具有旋转功能，可以在材料拉伸/压缩力学性能测量的同时，在同一微区域满足扫描电子束成像、EDS和EBSD一体化测试；测试装置设计的夹具支撑架，样品夹具和样品具有完全对称结构，保证样品的受到完全对称的拉伸/压缩应力作用，样品的几何中心，即变形中心始终位于电子束正下方，便于原位追踪动态研究和高质量微观扫描图像获得。
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公开(公告)号：CN106423330B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201610874068.1
申请日：2016-10-08
摘要： 本发明公开了一种实验加热装置，包括底座、水冷座、加热片、第一屏蔽层、第二屏蔽层和上盖；水冷座设置在底座上，上盖设置在水冷座上；水冷座上端面设置有加热片安装槽，加热片安装在加热片安装槽上，加热片通过线路与外部电源相连；第一屏蔽层设置在上盖下端面，加热片与第一屏蔽层间留有容置空间；第一屏蔽层中间与上盖中间设有观察孔；水冷座内设置有循环水管路，水冷座侧壁上设置有循环水进口和循环水出口；底座与所述水冷座之间设有第二屏蔽层。通过水冷结构对装置降温，通过屏蔽层减小装置对周围环境的热辐射，通过底座加快装置与外部结构的热传递，防止热量聚集，从而有效减小加热过程中热量传递对扫描电镜正常工作的影响。
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公开(公告)号：CN106423330A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610874068.1
申请日：2016-10-08
摘要： 本发明公开了一种实验加热装置，包括底座、水冷座、加热片、第一屏蔽层、第二屏蔽层和上盖；水冷座设置在底座上，上盖设置在水冷座上；水冷座上端面设置有加热片安装槽，加热片安装在加热片安装槽上，加热片通过线路与外部电源相连；第一屏蔽层设置在上盖下端面，加热片与第一屏蔽层间留有容置空间；第一屏蔽层中间与上盖中间设有观察孔；水冷座内设置有循环水管路，水冷座侧壁上设置有循环水进口和循环水出口；底座与所述水冷座之间设有第二屏蔽层。通过水冷结构对装置降温，通过屏蔽层减小装置对周围环境的热辐射，通过底座加快装置与外部结构的热传递，防止热量聚集，从而有效减小加热过程中热量传递对扫描电镜正常工作的影响。
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公开(公告)号：CN105388327B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510769697.3
申请日：2015-11-11
摘要： 一种在扫描电镜中进行原位微观力学、微结构、成分一体化研究的装置属于材料微结构与性能原位表征领域。本装置采用双梯形丝杠传动系统，装置刚度大，测试精度高；在扫描电镜中运行平稳，机械噪声小，对扫描电镜成像干扰低；梯形丝杠具有自锁性能，可以在任意时刻暂停测试和启动测试，测试数据连续性好；样品夹具具有旋转功能，可以在材料拉伸/压缩力学性能测量的同时，在同一微区域满足扫描电子束成像、EDS和EBSD一体化测试；测试装置设计的夹具支撑架，样品夹具和样品具有完全对称结构，保证样品的受到完全对称的拉伸/压缩应力作用，样品的几何中心，即变形中心始终位于电子束正下方，便于原位追踪动态研究和高质量微观扫描图像获得。
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公开(公告)号：CN106252186B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201610872996.4
申请日：2016-10-08
IPC分类号： H01J37/24
摘要： 本发明提供了一种应用于扫描电镜中的加热装置，该装置包括：样品坩埚、加热芯陶瓷、电热丝、热辐射屏蔽结构，样品坩埚布置于所述加热芯陶瓷的上端；电热丝以双螺旋的形式缠绕于所述加热芯陶瓷表面，且对加热芯陶瓷加热，电热丝的材料为掺杂钨丝；热辐射屏蔽结构包括内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层、上不锈钢屏蔽层、次上不锈钢屏蔽层以及屏蔽底座；内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层层与层之间均为真空，上述三层的直径比例由热损失方程确定。本发明提供的加热装置加热效率高、体积小、屏蔽效果好，克服了现有技术中加热装置影响扫描电正常工作的缺陷。
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公开(公告)号：CN206116343U
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201621102963.3
申请日：2016-10-08
IPC分类号： H01J37/24
摘要： 本实用新型提供了一种应用于扫描电镜中的加热装置，该装置包括：样品坩埚、加热芯陶瓷、电热丝、热辐射屏蔽结构，样品坩埚布置于所述加热芯陶瓷的上端；电热丝以双螺旋的形式缠绕于所述加热芯陶瓷表面，且对加热芯陶瓷加热，电热丝的材料为掺杂钨丝；热辐射屏蔽结构包括内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层、上不锈钢屏蔽层、次上不锈钢屏蔽层以及屏蔽底座；内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层层与层之间均为真空，上述三层的直径比例由热损失方程确定。本实用新型提供的加热装置加热效率高、体积小、屏蔽效果好，克服了现有技术中加热装置影响扫描电正常工作的缺陷。
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公开(公告)号：CN206114437U
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201621100669.9
申请日：2016-10-08
IPC分类号： G01N3/18
摘要： 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜中原位高温微观力学测试装置，包括控制系统、拉伸测试装置、加热装置及固定装置，拉伸测试装置设置有一容置空间，加热装置设置于容置空间内，拉伸测试装置与加热装置的底端均与固定装置连接，固定装置的底端与扫描电镜的样品支撑架固定连接；拉伸测试装置、加热装置及固定装置均设置在扫描电子显微镜的腔室内，扫描电子显微镜、拉伸测试装置及加热装置均与控制系统电连接。本实用新型中测试装置结构紧凑，可方便安装在显微镜中，加热装置的设置使测试能够在高温载荷条件下进行，方便实现扫描电子束对高温载荷和应力载荷作用下测试样品原位成像动态观察，同时获取同一观察微区域中样品的成分信息谱及晶体结构信息图。
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公开(公告)号：CN206103962U
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201621100671.6
申请日：2016-10-08
摘要： 本实用新型公开了一种实验加热装置，包括底座、水冷座、加热片、第一屏蔽层、第二屏蔽层和上盖；水冷座设置在底座上，上盖设置在水冷座上；水冷座上端面设置有加热片安装槽，加热片安装在加热片安装槽上，加热片通过线路与外部电源相连；第一屏蔽层设置在上盖下端面，加热片与第一屏蔽层间留有容置空间；第一屏蔽层中间与上盖中间设有观察孔；水冷座内设置有循环水管路，水冷座侧壁上设置有循环水进口和循环水出口；底座与所述水冷座之间设有第二屏蔽层。通过水冷结构对装置降温，通过屏蔽层减小装置对周围环境的热辐射，通过底座加快装置与外部结构的热传递，防止热量聚集，从而有效减小加热过程中热量传递对扫描电镜正常工作的影响。
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