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发明公开
一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器审中-实审

公开(公告)号：CN115598869A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202210792816.7

申请日：2022-07-05

Applicant: 浙江大学(CN)

Inventor： 林宏焘 , 钟础宇 , 魏茂良 , 马辉 , 巨泽朝

IPC: G02F1/01 , G02F1/00 , G02B6/12 , G02B6/122

Abstract: 本发明公开了一种混合波导集成石墨烯中红外电光调制器。包括蓝宝石衬底；硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上；第一石墨烯层位于硅波导传输层的一侧上；第一石墨烯层控制电极布置连接在第一石墨烯层之上；硫系介质层形成在硅波导传输层上，包覆第一石墨烯层；第二石墨烯层位于硫系介质层的一侧上；第二石墨烯层控制电极布置在第二石墨烯层上；包括硫系条形波导形成在第二石墨烯层上；硫系盖层形成在硫系介质层上，包覆第二石墨烯层和硫系条形波导。本发明支持3‑5μm波段的信号光进行低损传输和调制，本发明使用硅平板层与硫系条形波导构成混合脊型波导结构，石墨烯层可集成在TE0模式的场强极大值处，降低了光功耗。

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