公开(公告)号：CN117260461A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311261639.0

申请日：2023-09-27

Applicant: 浙江工业大学

Inventor： 袁巨龙 ,  程坤 ,  王旭 ,  吴金津

IPC: B24B13/00 ,  B24B13/005 ,  B24B57/02 ,  B24B53/02 ,  B24B53/12 ,  B24B55/06 ,  B24B55/00 ,  B24B47/12 ,  B08B3/12

Abstract: 一种平面抛光装置，包括机架和转动连接于机架上的抛光机，所述机架上设有抛光台和超声清洗台，抛光台和超声清洗台设置于抛光机相对两侧；所述抛光机输出端设有用于放置待抛光件的载物盘；所述抛光台内转动设有旋转件，旋转件上设置有与载物盘相配合的加热盘，机架内设有与旋转件相连接的传动机构；所述机架上还设有用于清洗抛光台的修整环固定机构，机架的一侧设有与抛光台相连通的滴料机构；与现有技术相比，使得加热、清洗和抛光均在同一装置中完成，避免了在抛光过程中将待抛光件更换处理设备，提高了待抛光件的抛光效率，同时加热、清洗和抛光等步骤均在一个装置中，进而减小了装置的占地面积。