公开(公告)号：CN118442935A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410152449.3

申请日：2024-02-03

Applicant: 浙江工业大学

Inventor： 王金虎 ,  何红晨 ,  刘文 ,  陈家奇 ,  王殊奇 ,  刘梦晴 ,  吕冰海 ,  袁巨龙

IPC: G01B11/22 ,  C03C15/00

Abstract: 本发明公开了石英玻璃刻蚀深度实时检测装置及检测方法；所述实时检测装置包括刻蚀液盛放容器、激光发射装置、光电检测器和计算机控制系统，其基于光反射原理，并根据数学几何关系推导，可以对待测工件的刻蚀深度进行实时检测，检测准确便捷。检测时，将待检测的工件浸入刻蚀液盛放容器内的刻蚀液中，并通过工件夹持机构夹紧固定；刻蚀液对工件进行刻蚀，激光发射装置发射激光，激光在工件表面反射后最终会射到光电检测器上；数据采集卡采集激光在光电检测器上的位置信息并发送至计算机控制系统，由计算机控制系统通过数学关系推导，将对应的工件刻蚀深度计算出来；在整个刻蚀过程中，通过不断调整激光的发射角度，即可获得工件的实时刻蚀深度。