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发明授权
一种晶棒上下料运输装置有权转让

公开(公告)号：CN108789897B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN201810722389.9

申请日：2018-07-04

Applicant: 浙江精工集成科技股份有限公司

Inventor： 周德明 , 袁华中 , 卫国军 , 童伟林 , 蒋斌斌 , 金越顺

IPC: B28D7/04 , B28D5/04

Abstract: 本发明属于金刚线晶片切割设备领域，具体涉及一种晶棒上下料运输装置，该运输装置安装于导轨架上，其特征在于：包括行走机构、升降机构、平移机构、定位机构、推拉机构和旋转机构；其中所述行走机构安装于导轨架上，所述定位机构安装于升降机构一侧，平移机构安装于升降机构上，平移机构上还设置有推拉机构和旋转机构。能实现晶棒的上下料操作与运输过程中实现无人自动化，节省人力资本，提高企业生产效率。

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