公开(公告)号：CN1243214A

公开(公告)日：2000-02-02

申请号：CN99107620.6

申请日：1999-04-07

申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司

发明人： J·E·帕加尼斯 ,  B·J·朱西克 ,  R·尤迪施斯 ,  H-C·王 ,  K·横木 ,  S·富田

IPC分类号： F17D1/04 ,  F17D1/06 ,  B01J19/00

CPC分类号： C01B17/453 ,  C01B7/01 ,  C01B7/093 ,  C01B7/191 ,  C01B7/24 ,  C01B21/22 ,  C01C1/003 ,  C01C1/006 ,  F17C7/04 ,  F25J3/08 ,  F25J2200/02 ,  F25J2200/04 ,  F25J2200/74 ,  F25J2215/80 ,  F25J2280/02 ,  F25J2290/60 ,  F25J2290/62 ,  Y10S62/924

摘要： 将汽相产品输送到使用地点的系统和方法以及新颖的化学品就地分配系统和方法。用于输送汽相产品的系统包括:一容纳处于其蒸汽压力下的液体化学品的存储容器;一连接用于容纳来自存储容器的液化状态的化学品的塔,其中该化学品被分离成含杂质的重的液体部分和被净化的轻的蒸汽部分;和一导管,它连接到塔上,用于从其中排出被净化的轻的蒸汽部分。该系统与使用地点连接,用于将被净化的蒸汽部分输送到该处。本发明尤其适用于在半导体制造中将电子特种气体输送到一个或多个半导体加工设备。

公开(公告)号：CN1083564C

公开(公告)日：2002-04-24

申请号：CN99107620.6

申请日：1999-04-07

申请人： 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司

发明人： J·E·帕加尼斯 ,  B·J·朱西克 ,  R·尤迪施斯 ,  H-C·王 ,  K·横木 ,  S·富田

IPC分类号： F25J3/02 ,  F17D1/06 ,  F25J1/00

CPC分类号： C01B17/453 ,  C01B7/01 ,  C01B7/093 ,  C01B7/191 ,  C01B7/24 ,  C01B21/22 ,  C01C1/003 ,  C01C1/006 ,  F17C7/04 ,  F25J3/08 ,  F25J2200/02 ,  F25J2200/04 ,  F25J2200/74 ,  F25J2215/80 ,  F25J2280/02 ,  F25J2290/60 ,  F25J2290/62 ,  Y10S62/924

摘要： 将汽相产品输送到使用地点的系统和方法以及新颖的化学品就地分配系统和方法。用于输送汽相产品的系统包括：一容纳处于其蒸汽压力下的液体化学品的存储容器；一连接用于容纳来自存储容器的液化状态的化学品的塔，其中该化学品被分离成含杂质的重的液体部分和被净化的轻的蒸汽部分；和一导管，它连接到塔上，用于从其中排出被净化的轻的蒸汽部分。该系统与使用地点连接，用于将被净化的蒸汽部分输送到该处。本发明尤其适用于在半导体制造中将电子特种气体输送到一个或多个半导体加工设备。