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公开(公告)号：CN1553969A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：CN02817597.2
申请日：2002-07-12
发明人： 许敏第 , 泰·萨亚萨尼 , 约瑟夫·E·帕格尼斯 , 格里戈里·M·珠尔斯茨 , 劳瑞恩·Y·宏达 , 中本直之 , 西川幸伸 , 赫尔福·E·杜菲 , 古劳密·拉米奥
IPC分类号： C23C16/448 , C03B37/014 , C03B37/018 , C03B19/14
CPC分类号： B08B9/032 , C03B19/1415 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C23C16/448 , C23C16/45561 , F17C9/02 , F17C2205/0332 , F17C2205/0338 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/017 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/033 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2270/0518
摘要： 一种整体块，可连接到一个用来把超纯化学制品从一个液体化学制品容器输送到半导体或光纤制造过程中的使用点的化学制品输送系统上，其中所述整体块是一个用来盛放超纯化学制品的化学制品容器块、一个用来重新填充容器的重新填充容器块、一个用来提供压力的加压气体块、一个用来清洗化学制品的清洗气体块、一个用于废物回收的废物回收块、一个用来产生真空的真空块、一个用来供给溶剂的溶剂供给块、一个用来脱气化学制品的脱气块、一个用来过滤化学制品的过滤块或它们的组合，其中预制整体块。
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公开(公告)号：CN1298418C
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN02817597.2
申请日：2002-07-12
发明人： 许敏第 , 泰·萨亚萨尼 , 约瑟夫·E·帕格尼斯 , 格里戈里·M·珠尔斯茨 , 劳瑞恩·Y.·宏达 , 中本直之 , 西川幸伸 , 赫尔福·E.·杜菲 , 古劳密·拉米奥
CPC分类号： B08B9/032 , C03B19/1415 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C23C16/448 , C23C16/45561 , F17C9/02 , F17C2205/0332 , F17C2205/0338 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/017 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/033 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2270/0518
摘要： 一种整体块，可连接到一个用来把超纯化学制品从一个液体化学制品容器输送到半导体或光纤制造过程中的使用点的化学制品输送系统上，其中所述整体块是一个用来盛放超纯化学制品的化学制品容器块、一个用来重新填充容器的重新填充容器块、一个用来提供压力的加压气体块、一个用来清洗化学制品的清洗气体块、一个用于废物回收的废物回收块、一个用来产生真空的真空块、一个用来供给溶剂的溶剂供给块、一个用来脱气化学制品的脱气块、一个用来过滤化学制品的过滤块或它们的组合，其中预制整体块。
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