公开(公告)号：CN1301342C

公开(公告)日：2007-02-21

申请号：CN02810693.8

申请日：2002-05-21

Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司 ,  液体气体电子系统公司

Inventor： J-C·罗斯坦 ,  D·介朗 ,  C·拉尔凯 ,  C-H·利 ,  M·穆瓦桑 ,  H·迪尔菲

IPC: C23C16/44 ,  B01D53/70 ,  B01J19/12 ,  B01D53/32

CPC classification number: B01D53/70 ,  B01D53/323 ,  B01D2259/818 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0894 ,  C23C16/4412 ,  Y02C20/30

Abstract: 本发明涉及一种用等离子体处理PFC或HFC的系统，上述系统包括：泵送装置(6)和装置(8)，所述泵送装置(6)的出口是在一个基本上等于大气压的压力下，而所述装置(8)是在泵送装置出口处，以便产生一个在大气压下的等离子体。

公开(公告)号：CN1543515A

公开(公告)日：2004-11-03

申请号：CN02810693.8

申请日：2002-05-21

Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司 ,  液体气体电子系统公司

Inventor： J-C·罗斯坦 ,  D·介朗 ,  C·拉尔凯 ,  C-H·利 ,  M·穆瓦桑 ,  H·迪尔菲

IPC: C23C16/44 ,  B01D53/70 ,  B01J19/12 ,  B01D53/32

CPC classification number: B01D53/70 ,  B01D53/323 ,  B01D2259/818 ,  B01J2219/0875 ,  B01J2219/0894 ,  C23C16/4412 ,  Y02C20/30

Abstract: 本发明涉及一种用等离子体处理PFC或HFC的系统，上述系统包括：泵送装置(6)和装置(8)，所述泵送装置(6)的出口是在一个基本上等于大气压的压力下，而所述装置(8)是在泵送装置出口处，以便产生一个在大气压下的等离子体。