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发明公开
一种超声换能器用压电阵元的制作方法审中-实审

公开(公告)号：CN113314663A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110445995.2

申请日：2021-04-25

申请人： 淄博微铨新型金属功能材料有限公司

发明人： 刘悦 , 刘恩清 , 马有草 , 宋健

IPC分类号： H01L41/337 , H01L41/29 , H01L41/31 , H01L41/312

摘要： 本发明涉及一种超声换能器用压电阵元的制作方法，其包括将压电陶瓷片减薄至50μm或其以下厚度；于减薄后的压电陶瓷片的两表面分别沉积电极后，再于其中一个表面设置背衬材料，得初始压电阵元；切割初始压电阵元，得压电阵元。本发明提供的技术方案利用减薄压电阵元中压电陶瓷片厚度的工艺，同时实现了压电阵元总体厚度的减小，以及对压电陶瓷片厚度的精确控制，获得了具有可调谐振频率的压电阵元；本发明采用的减薄后再沉积电极、设置背衬材料的技术方案既可使背衬材料设置均匀，又不影响对压电陶瓷片与背衬材料的结合。